응용 분야
과학 연구 및 실험실
대학, 연구소, 첨단 R&D를 위한 고순도 용융 석영, 사파이어, 특수 세라믹 부품.
과학 연구용 용융 석영과 첨단 세라믹
연구용 부품은 상용 반도체 부품보다 더 높은 순도, 정밀도, 특수 형상, 극한 환경 성능을 요구하는 경우가 많습니다. Tuguan Semiconductor는 시제품과 소량 주문에도 대응합니다.
대표적인 연구 응용
초고진공(UHV) 챔버
- 베이크 후 낮은 outgassing
- 용접 조립체의 낮은 He leak
- 접착 이음 없는 단일 소재 구조
고온 반응관
| 온도 범위 | 소재 | 형상 |
|---|---|---|
| 최대 1200°C | 용융 석영 | 튜브, 보트, 도가니 |
| 최대 1700°C | Al₂O₃ 99.9% | 튜브, 보트, 도가니 |
| 최대 2000°C | BN | 도가니, 라이너, 노즐 |
| 최대 2200°C | SiC | 튜브, 서셉터 |
결정 성장 장비
- 실리콘 CZ용 석영 도가니
- 석영 / 알루미나 성장 튜브
- RF 가열용 BN / SiC 서셉터
중성자 및 X선 빔라인
| 부품 | 소재 | 요구 특성 |
|---|---|---|
| 중성자 윈도우 | 합성 용융 실리카 | 낮은 포획 단면적 |
| X선 캐필러리 | 용융 석영 | 박벽, 높은 투과 |
| 샘플 셀 | 용융 석영 | 내화학성, 투명성 |
| 저온창 | 사파이어 | 저온 IR 투과 |
플라즈마 물리 장비
- UHV 호환 석영 뷰포트
- 고순도 석영 및 세라믹 절연체
- 고출력면용 사파이어 뷰포트
시제품 및 소량 생산 서비스
- 1~10개 수준의 시제품 수량 대응
- 도면 기반 복잡 형상 가공
- 중간 난이도 기준 단납기 대응
- 소재 선정 및 설계 검토 지원