재료 과학
소재
ppb 수준 순도의 합성 용융 실리카부터 단결정 사파이어까지, 반도체 공정에 맞는 소재를 선택할 수 있습니다.
재료 01
SiO₂
용융 석영 유리
천연 및 합성 등급
뛰어난 열안정성, 자외선 투과성, 매우 낮은 열팽창 계수를 가진 비정질 이산화규소 유리입니다. 천연 용융 석영과 고순도 합성 용융 실리카를 제공합니다.
- SiO₂ 순도: 99.99–99.9999%
- 열팽창 계수: 0.55 × 10⁻⁶/°C
- 최대 사용 온도: 1200°C
- UV 투과 범위: 190–3500 nm
재료 02
Al₂O₃
사파이어
단결정 Al₂O₃
매우 높은 경도, 화학적 불활성, 광범위한 광투과 특성을 가진 단결정 산화알루미늄입니다. 고온 뷰포트, 광학 윈도우, 내마모 부품에 적합합니다.
- 경도: 모스 9
- 최대 사용 온도: 1900°C
- 투과 범위: 0.14–6 μm
- 화학 특성: 높은 불활성
재료 03
Al₂O₃ · Si₃N₄ · BN · SiC
정밀 세라믹
Al₂O₃ · Si₃N₄ · BN · SiC
첨단 세라믹은 경도, 열전도율, 전기 절연성, 내화학성을 공정 요구에 맞게 조합할 수 있으며 4가지 소재 등급을 지원합니다.
- 알루미나 Al₂O₃: 고경도 + 절연성
- 질화규소 Si₃N₄: 열충격 저항
- 질화붕소 BN: 열전도성 + 가공성
- 탄화규소 SiC: 초고경도 + 전도성
등급 선택
석영 유리 등급 비교
| 등급명 | 대응 코드 | 순도 | OH 함량 | 최대 온도 | 적합한 용도 |
|---|---|---|---|---|---|
| 천연 용융 석영 | GE-124 / KU-1 equivalent | 99.99% SiO₂ | <30 ppm OH | 1150°C continuous / 1400°C short-term | 확산관 / 퍼니스 튜브 / 웨이퍼 보트 |
| 합성 용융 실리카(고순도) | Equivalent to Momentive HPFS / Heraeus Suprasil | >99.9999% SiO₂ | 800–1200 ppm OH (standard) / <1 ppm OH (dry grade) | 1200°C continuous | 반도체 습식 식각 / CVD 챔버 / 정밀 광학 부품 |
| 불투명 용융 석영 | Milky/Translucent Grade | 99.9% SiO₂ | 1100°C | 열 차폐 부품 / 확산 보트 지지 부품 / 단열 부품 |