소재
사파이어 부품
플라즈마, 광학, 고온 반도체 장비용 고순도 단결정 사파이어 창, 튜브, 핀 및 맞춤 부품입니다.
고강도 투명 세라믹 소재
사파이어는 산화알루미늄의 단결정 형태로, 탁월한 경도, 화학 안정성, 광학 투과율을 제공합니다. 기계적 내구성, 플라즈마 저항성, 투명성이 동시에 요구되는 반도체 장비 부품에 널리 사용됩니다.
Tuguan은 플라즈마 공정 장비, 고온 챔버, 센서 모듈, 계측 시스템을 위한 사파이어 창, 튜브, 로드, 핀, 절연체, 맞춤형 구조 부품을 공급합니다.
핵심 특성
| 특성 | 일반 값 | 공정상 이점 |
|---|---|---|
| 소재 | 단결정 Al2O3 | 높은 순도와 구조적 안정성 |
| 경도 | 모스 9 | 뛰어난 스크래치 및 마모 저항 |
| 최대 사용 온도 | 최대 1600°C | 고온 챔버와 열공정에 적합 |
| 광 투과율 | UV, 가시광, IR 대역 우수 | 센서 및 관찰창에 적합 |
| 화학 안정성 | 산과 플라즈마에 강함 | 부식과 오염 저감 |
대표 응용 분야
- 플라즈마 식각 장비의 사파이어 창과 라이너
- 반응기 및 계측용 광학 창
- 고온로의 사파이어 튜브와 절연체
- 웨이퍼 처리 및 정렬용 사파이어 핀
- 센서, 램프, 레이저 시스템용 보호 부품
- 내마모성이 필요한 포지셔닝 부품
제조 역량
사파이어는 매우 단단하고 취성이 있어 전용 연삭, 폴리싱, 모서리 처리 공정이 필요합니다. 당사는 다이아몬드 공구 가공과 정밀 폴리싱을 사용해 표면 손상, 칩, 서브서피스 균열을 제어합니다.
일반적인 역량은 다음과 같습니다.
- 평면, 원형, 맞춤 형상 사파이어 창
- 연마 또는 폴리싱 처리된 사파이어 튜브와 로드
- 작은 핀, 노즐, 절연 부품
- 광학 등급 폴리싱 및 모서리 베벨링
- 도면 기반 사파이어 가공품
설계 시 고려 사항
사파이어의 강도는 결정 방향, 모서리 품질, 표면 마감에 영향을 받습니다. 홀, 슬롯, 얇은 단면, 날카로운 내부 코너가 필요한 부품은 파손 위험을 줄이기 위해 초기에 검토해야 합니다.
광학 용도에는 투과 파장 범위, 표면 품질, 평탄도, 평행도 및 코팅 요구사항도 정의해야 합니다.
품질 관리
사파이어 부품은 치수 정확도, 모서리 품질, 표면 결함, 광학 외관을 검사합니다. 응용 분야에 따라 투과율, 평탄도, 표면 거칠기 또는 결정 방향 문서를 제공할 수 있습니다.
민감한 반도체 용도에는 클린 세정과 보호 포장을 제공합니다.
Tuguan과 협업하기
사파이어 부품의 도면, 샘플 또는 적용 조건을 공유해 주시면 소재 방향, 표면 사양, 허용 공차 및 제조 리스크를 검토하여 신뢰성 있는 양산 방안을 제안하겠습니다.