반도체 공정용 융합 석영

초고순도 공정을 위한 설계

융합 석영은 반도체 열공정 및 습식 공정에서 가장 신뢰받는 소재 중 하나입니다. 낮은 열팽창, 우수한 열충격 저항성, 높은 화학적 순도 덕분에 석영은 온도 안정성, 이온 청정도, 치수 정밀도가 모두 필요한 응용 분야에 적합합니다.

Tuguan은 확산로, 산화로, CVD 장비, 식각 장비, 습식 세정 모듈에 사용되는 융합 석영 부품을 가공합니다. 제품 범위에는 공정 튜브, 보트, 베인, 링, 챔버, 돔, 관찰창 및 고객 도면 기반 맞춤 부품이 포함됩니다.

당사는 CNC 연삭, 정밀 절단, 화염 연마, 수소-산소 용접, 어닐링 및 세정 공정을 결합해 복잡한 석영 형상을 제작합니다. 두께, 평탄도, 동심도 및 표면 품질은 도면 요구사항과 장비 인터페이스에 맞춰 관리됩니다.

일반적인 제조 역량은 다음과 같습니다.

석영은 열충격에는 강하지만, 국부적인 기계 응력과 날카로운 모서리에는 취약할 수 있습니다. Tuguan 엔지니어는 반경 처리, 응력 완화, 벽 두께 전이, 지지 구조를 함께 검토하여 사용 중 파손 위험을 낮춥니다.

부품이 플라즈마, HF 증기 또는 반복 열사이클에 노출되는 경우에는 예상 수명, 허용 가능한 표면 변화, 세정 주기를 설계 단계에서 함께 고려할 것을 권장합니다.

석영 부품은 출하 전 치수 검사, 외관 검사, 응력 검사 및 세정 검증을 거칩니다. 요청 시 공급 가능한 문서에는 치수 검사 보고서, 소재 인증서, 표면 품질 기록, 포장 사양이 포함됩니다.

오염에 민감한 공정에는 금속 접촉을 최소화한 전용 세정과 이중 포장 옵션을 제공합니다.

신규 석영 부품을 개발하거나 기존 석영 소모품을 교체해야 하는 경우, 도면, 샘플 또는 장비 인터페이스 정보를 보내 주십시오. 당사는 소재 등급, 공차, 표면 처리 및 포장 방식을 검토해 양산에 적합한 석영 부품을 제안합니다.