태양전지 제조용 석영 및 세라믹 부품
태양전지 제조는 반도체 공정과 유사한 설비를 사용하지만 처리량이 훨씬 높아 부품의 교체 주기, 수량, 비용 효율이 매우 중요합니다.
주요 공정
P/N 접합 확산
| 부품 | 소재 | 태양전지용 고려사항 |
|---|
| 확산관 | 천연 용융 석영 Grade 1 | 대형 보트, 빈번한 열사이클 |
| 웨이퍼 보트 | 용융 석영 Grade 1 | 156 / 210 mm 웨이퍼 |
| 소스 튜브 | 용융 석영 Grade 1 | POCl₃ 증기와 화학적 호환 |
| 패들 / 포크 | 용융 석영 Grade 1 | 대면적 웨이퍼 핸들링 |
PECVD
| 부품 | 소재 | 요구사항 |
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| 전극판 | 용융 석영 Grade 1 | 플라즈마 투과, 저오염 |
| 가스 분배판 | 용융 석영 Grade 1 | 균일 홀 배열 |
| 챔버 라이너 | 용융 석영 Grade 1 | 금속벽 부착 억제 |
전극 소성
| 부품 | 소재 | 요구사항 |
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| 머플 튜브 | 용융 석영 Grade 1 | 열사이클 내구성 |
| 라디언트 튜브 | 용융 석영 Grade 1 | 균일 복사 가열 |
| 컨베이어 지지부 | 알루미나 또는 SiC | 높은 열충격 저항 |
텍스처링
| 부품 | 소재 | 약액 |
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| 텍스처링 탱크 | 용융 석영 Grade 1 | KOH / NaOH 또는 HF / HNO₃ |
| 린스 탱크 | 용융 석영 Grade 1 | DI water |
| 오버플로 위어 | 용융 석영 Grade 1 | 캐스케이드 린스 |
대량 공급 대응
- 정기 소비를 위한 blanket order / consignment 지원
- 표준 보트와 튜브의 빠른 교체 납기
- 자동 핸들링 장비에 맞춘 치수 일관성 확보
