정밀 세라믹

혹독한 공정을 위한 엔지니어링 세라믹

정밀 세라믹은 금속과 폴리머가 열, 플라즈마, 전기 절연 또는 내마모 요구를 충족하지 못하는 곳에 사용됩니다. 반도체 장비에서 세라믹은 절연체, 지지대, 노즐, 척, 링, 가이드, 구조 부품으로 사용됩니다.

Tuguan은 알루미나, 지르코니아, 질화알루미늄, 실리콘카바이드 및 기타 고성능 세라믹 소재를 사용해 맞춤형 부품을 제작합니다. 소재 선택은 온도, 기계 하중, 열전도도, 플라즈마 노출 및 오염 관리 요구에 따라 이루어집니다.

소재 옵션

소재	주요 특성	대표 용도
알루미나 Al2O3	높은 절연성, 강도, 비용 효율	절연체, 스페이서, 튜브, 링
지르코니아 ZrO2	높은 인성 및 내마모성	핀, 가이드, 정밀 기계 부품
질화알루미늄 AlN	높은 열전도도와 전기 절연성	열 관리 부품, 히터 지지대
실리콘카바이드 SiC	고강도, 열충격 저항, 플라즈마 저항	서셉터, 링, 고온 구조물
질화규소 Si3N4	높은 인성과 열충격 저항	롤러, 베어링, 고하중 부품

대표 응용 분야

• 반도체 장비용 절연체, 스페이서, 브래킷
• 플라즈마 장비용 세라믹 링, 노즐, 라이너
• 웨이퍼 핸들링용 핀, 가이드, 엔드 이펙터
• 고온로용 세라믹 튜브, 보트, 지지대
• 진공 및 계측 장비용 전기 절연 부품
• 자동화 시스템용 내마모 정렬 부품

제조 역량

세라믹 부품은 일반적으로 소결 전 성형과 소결 후 정밀 가공을 결합해 제작됩니다. 최종 형상은 다이아몬드 연삭, 래핑, 폴리싱, 초음파 가공, 레이저 가공으로 달성할 수 있습니다.

당사의 제조 역량은 다음과 같습니다.

• 도면 기반 맞춤 세라믹 부품
• 미세 홀, 슬롯, 계단 형상의 정밀 연삭
• 평탄도와 평행도 제어
• 래핑 및 폴리싱 표면
• 세라믹-금속 조립 지원
• 프로토타입부터 양산까지 공급

소재 선택 가이드

세라믹 소재는 성능 요구사항에 맞춰 선택해야 합니다. 알루미나는 절연성이 좋고 경제적이며, 지르코니아는 높은 인성과 매끄러운 마모 성능을 제공합니다. AlN은 전기 절연과 열전도도를 동시에 필요로 하는 경우에 적합합니다. SiC는 고온, 플라즈마 및 부식 환경에서 사용됩니다.

검토 시에는 다음 정보를 제공해 주시면 좋습니다.

• 사용 온도 및 열사이클
• 진공, 플라즈마 또는 화학 노출
• 전기 절연 또는 열전도 요구
• 기계 하중과 조립 방법
• 표면 거칠기와 입자 관리 요구
• 예상 수량 및 검사 기준

품질 관리

정밀 세라믹 부품은 치수, 외관, 표면 품질 및 주요 기능 특성을 검사합니다. 필요 시 소재 인증서, 검사 보고서, 표면 거칠기 데이터 및 세정 기록을 제공할 수 있습니다.

고순도 또는 오염 민감 환경에는 전용 세정과 보호 포장 옵션을 적용할 수 있습니다.

Tuguan과 협업하기

새로운 세라믹 부품을 설계하거나 기존 부품의 성능 개선이 필요하다면 도면, 샘플 또는 사용 조건을 보내 주십시오. 당사는 소재 선택부터 가공 전략, 공차 검토, 양산 공급까지 지원합니다.