溶融石英
石英洗浄槽
HF、SC-1、SC-2、ピラニア洗浄などの半導体湿式洗浄工程向け溶接石英槽。単槽・カスケード構成、カスタムサイズに対応。
Material: Fused quartz Grade 1 (≥ 99.99% SiO₂) Wall Thickness: 5–10 mm (size dependent) He Leak Rate (All Welds): < 1×10⁻⁹ mbar·L/s Max Operating Temperature: 200°C (HF process max: 80°C)
ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。
技術仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 (≥ 99.99% SiO₂) |
| Wall Thickness | 5–10 mm (size dependent) |
| He Leak Rate (All Welds) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| Max Operating Temperature | 200°C (HF process max: 80°C) |
| Chemical Compatibility | HF, HCl, H₂SO₄, H₂O₂, HNO₃, NH₄OH, SC-1, SC-2, Piranha |
| Weld Joint Strength | ≥ 95% of parent material |
石英洗浄槽
石英洗浄槽は、HF、SC-1、SC-2、ピラニアなどの高純度湿式プロセスで使用されます。低金属汚染、耐薬品性、熱安定性が求められるウェットベンチに適しています。
製造と品質
石英板の切断、溶融溶接、応力除去、リーク確認を行い、槽サイズ、排液口、オーバーフロー、カスケード構造を設計できます。
お問い合わせ時の情報
薬液、温度、槽寸法、ポート位置、搬送方式、洗浄・梱包要求をお知らせください。
