사파이어
사파이어 윈도우 및 옵티컬 플랫
반도체 공정 챔버용 단결정 사파이어 윈도우와 옵티컬 플랫입니다. UV부터 중적외선까지 투과, Ra < 0.1 nm, 우수한 플라즈마 및 내화학성을 제공합니다.
Material: Single-crystal Al₂O₃ (Czochralski), > 99.99% Crystal Orientation: C-plane (0001) standard; A, R, M-plane available Surface Roughness: Ra < 0.1 nm (optical polish) Surface Form: λ/4 standard / λ/10 precision
맞춤형 치수 및 사양 제공 가능합니다.
기술 사양
| 항목 | 값 |
|---|---|
| Material | Single-crystal Al₂O₃ (Czochralski), > 99.99% |
| Crystal Orientation | C-plane (0001) standard; A, R, M-plane available |
| Surface Roughness | Ra < 0.1 nm (optical polish) |
| Surface Form | λ/4 standard / λ/10 precision |
| Transmission Range | 0.14 – 6.0 μm |
| Max Use Temperature | 1900°C (in air) |
사파이어 윈도우 및 옵티컬 플랫
사파이어 윈도우는 높은 경도, 넓은 투과 대역, 우수한 내화학성을 갖춰 플라즈마 챔버, 센서 윈도우, 레이저 광학계에 적합합니다. 석영보다 높은 내마모성이 필요한 위치에 사용됩니다.
제조 및 품질
결정 방향, 외형, 두께, 평탄도, 표면 조도, 모서리 처리를 관리합니다. 필요 시 투과율, XRD 방향, 표면 품질 보고서를 제공할 수 있습니다.
문의 시 필요한 정보
파장 범위, 결정 방향, 크기, 두께, 표면 품질, 코팅 요구사항을 공유해 주십시오.
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