サファイア
サファイア窓・オプティカルフラット
半導体プロセスチャンバー向け単結晶サファイア窓とオプティカルフラット。UVから中赤外までの透過、Ra < 0.1 nm、優れたプラズマ・耐薬品性。
Material: Single-crystal Al₂O₃; grade confirmed by material source Crystal Orientation: C-plane (0001) standard; A, R, M-plane available Surface Roughness: Specified per optical requirement Surface Form: Reviewed case by case
ご要望に応じてカスタム寸法・仕様に対応します。
技術仕様
| 項目 | 値 |
|---|---|
| Material | Single-crystal Al₂O₃; grade confirmed by material source |
| Crystal Orientation | C-plane (0001) standard; A, R, M-plane available |
| Surface Roughness | Specified per optical requirement |
| Surface Form | Reviewed case by case |
| Transmission Range | Depends on grade, thickness, and wavelength |
| Max Use Temperature | Application-dependent |
サファイア窓・オプティカルフラット
サファイア窓・オプティカルフラット
サファイア窓は、高硬度、広帯域透過、優れた耐薬品性を持ち、プラズマチャンバー、センサー窓、レーザー光学系に適しています。石英より高い耐摩耗性が必要な場所で選ばれます。
製造と品質
結晶方位、外形、厚み、平面度、表面粗さ、エッジ処理を管理します。必要に応じて透過率、XRD方位、表面品質レポートを提供できます。
お問い合わせ時の情報
波長範囲、結晶方位、サイズ、厚み、表面品質、コーティング要求を共有してください。
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