용융 석영
석영 세정 탱크
HF, SC-1, SC-2, 피라냐 등 반도체 습식 세정 공정을 위한 용접 용융 석영 탱크입니다. 단일 및 캐스케이드 구성, 맞춤 크기를 지원합니다.
Material: Fused quartz Grade 1 (≥ 99.99% SiO₂) Wall Thickness: 5–10 mm (size dependent) He Leak Rate (All Welds): < 1×10⁻⁹ mbar·L/s Max Operating Temperature: 200°C (HF process max: 80°C)
맞춤형 치수 및 사양 제공 가능합니다.
기술 사양
| 항목 | 값 |
|---|---|
| Material | Fused quartz Grade 1 (≥ 99.99% SiO₂) |
| Wall Thickness | 5–10 mm (size dependent) |
| He Leak Rate (All Welds) | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| Max Operating Temperature | 200°C (HF process max: 80°C) |
| Chemical Compatibility | HF, HCl, H₂SO₄, H₂O₂, HNO₃, NH₄OH, SC-1, SC-2, Piranha |
| Weld Joint Strength | ≥ 95% of parent material |
석영 세정 탱크
석영 세정 탱크는 HF, SC-1, SC-2, 피라냐 등 고순도 습식 공정에 사용됩니다. 낮은 금속 오염, 내화학성, 열 안정성이 필요한 웨트 벤치에 적합합니다.
제조 및 품질
석영 판 절단, 용융 용접, 응력 완화, 누설 확인을 통해 탱크 크기, 배수구, 오버플로우, 캐스케이드 구조를 맞춤 제작합니다.
문의 시 필요한 정보
약액, 온도, 탱크 크기, 포트 위치, 이송 방식, 세정 및 포장 요구사항을 알려 주십시오.
