熔融石英
石英扩散管
用于半导体扩散炉的高纯熔融石英扩散氧化管——提供直管、法兰管和铃口管配置，适用于4英寸至12英寸晶圆工艺。
材料: 熔融石英 GE-124 等效 / 合成二氧化硅 HPFS 等效 纯度: ≥ 99.99% SiO₂（一级）/ ≥ 99.9999% SiO₂（二级） 外径公差: ±0.5 mm 壁厚公差: ±0.3 mm
支持按需定制尺寸和规格。
技术规格
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | 熔融石英 GE-124 等效 / 合成二氧化硅 HPFS 等效 |
| 纯度 | ≥ 99.99% SiO₂（一级）/ ≥ 99.9999% SiO₂（二级） |
| 外径公差 | ±0.5 mm |
| 壁厚公差 | ±0.3 mm |
| 长度公差 | ±1 mm |
| 弯曲度（每1000 mm） | < 1 mm |
| 内表面粗糙度 | Ra ≤ 1.6 μm |
| 氦检漏率（法兰管） | < 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
石英扩散管
扩散管是卧式和立式扩散炉系统中的主反应腔体，用于热氧化（SiO₂生长）、掺杂扩散（硼、磷、砷）、LPCVD薄膜沉积以及高温退火。管材的纯度和尺寸精度直接影响晶圆均匀性和污染水平。
产品配置
直通开口管
最简单的配置——两端开口的圆柱管。适用于炉管两端盖、法兰或端盖由炉机厂商提供的场合。
| 参数 | 4英寸工艺 | 6英寸工艺 | 8英寸工艺 | 12英寸工艺 |
|---|---|---|---|---|
| 标称外径 | 125 mm | 175 mm | 225 mm | 325 mm |
| 标称内径 | 118 mm | 168 mm | 218 mm | 318 mm |
| 壁厚 | 3.5 mm | 3.5 mm | 3.5 mm | 3.5 mm |
| 标准长度 | 1200 mm | 1500 mm | 1500 mm | 1800 mm |
| 最大长度 | 2000 mm | 2000 mm | 2000 mm | 2000 mm |
法兰管
一端或两端配备精密磨削法兰，用于O形圈或金属面密封连接炉管端盖。
- 法兰外径： 与炉机厂商端面规格匹配
- 法兰面平面度： < 0.05 mm
- 焊接完整性： 每处焊缝氦检漏率 < 1×10⁻⁹ mbar·L/s
- 可选法兰类型： 平面、凸面、定制
铃口管
一端成型为圆润铃形封口——为单端装载提供气动平滑的封闭端。常见于立式炉设计。
- 铃口半径与管外径匹配
- 铃口处壁厚均匀性：±10%
- 适用于所有标准外径规格
牌号选择
| 应用场景 | 推荐牌号 | 原因 |
|---|---|---|
| 标准扩散/氧化 < 1100°C | 一级（天然） | 经济实用；总金属 < 20 ppm |
| CVD / ppb 级金属要求 | 二级（合成） | 总金属 < 50 ppb |
| 隔热屏/外管 | 三级（不透明） | 高红外反射率；成本较低 |
定制规格
图冠半导体定制管材是我们的核心业务。常见定制功能包括：
- 侧开口及气体注入口
- 阶梯孔（两端不同内径）
- 加厚壁（适用于高压应用）
- 非标长度和直径
- 不透明外管/透明内管复合结构
