产品目录
产品
面向半导体及先进制造工艺的精密石英、蓝宝石和陶瓷组件。
按组件类型
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管材与衬管
工艺管、炉管、反应管
晶舟与载具
晶圆舟、载具、舟架
环与法兰
聚焦环、密封法兰、定位环
板与窗口
观察窗、挡板、圆盘
腔体与钟罩
反应腔、钟罩、穹顶
定制零件
按图纸定制加工
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按材料筛选
按组件类型筛选
13 个结果
石英扩散管
用于半导体扩散炉的高纯熔融石英扩散氧化管——提供直管、法兰管和铃口管配置，适用于4英寸至12英寸晶圆工艺。
石英晶舟
精密加工熔融石英晶舟，适用于卧式和立式扩散炉——标准25槽及定制槽数，兼容4英寸至12英寸晶圆。
石英法兰与管件
精密加工的熔融石英法兰、变径接头、弯头和管接头，适用于半导体气路和炉管组件——兼容标准金属法兰接口。
石英聚焦环与刻蚀环
精密加工熔融石英聚焦环、刻蚀环和边缘环，用于等离子刻蚀和CVD腔体——公差 ±0.02 mm，表面粗糙度 Ra 0.1 μm。
石英钟罩与穹顶
吹制成型熔融石英钟罩和穹顶，用于CVD、外延和溅射反应腔体封罩——直径达500 mm，配气密焊接法兰。
石英清洗槽
焊接熔融石英湿法清洗容器，适用于HF、SC-1、SC-2和Piranha半导体清洗工艺——单槽和级联配置，可定制尺寸。
石英气体注入器与喷淋头
精密多孔石英气体注入器和喷淋头，用于CVD、ALD和扩散炉系统中的均匀气体分布——孔阵列位置精度达±0.02 mm。
石英反应管
用于外延、CVD和RTP系统的高纯熔融石英反应管——可提供抛光内孔、侧向开口和精密磨削法兰，实现工艺腔室集成。
石英观察窗
用于半导体工艺腔室监测的光学抛光熔融石英和蓝宝石观察窗——紫外至中红外透射，密封金属或CF法兰。
石英挡板与内衬
定制加工的熔融石英挡板、内衬和隔热屏，适用于半导体炉管、扩散系统和CVD反应器。
蓝宝石窗口与光学平晶
用于半导体工艺腔室的单晶蓝宝石窗口和光学平晶——紫外至中红外透射，Ra < 0.1 nm，极端等离子体和化学耐受性。
陶瓷晶舟与载具
用于高温半导体工艺的高纯氧化铝和碳化硅晶圆载具、晶舟和卡匣——具有优异的耐磨性和抗热震能力。
定制精密零件
基于图纸的熔融石英、蓝宝石和工程陶瓷定制加工——从原型到量产，任意几何形状，任意规格。