材料科学
材料
从 ppb 级纯度的合成熔融石英到单晶蓝宝石，帮助您为半导体工艺选择合适材料。
材料 01
SiO₂
熔融石英玻璃
天然级与合成级
非晶二氧化硅玻璃，具备优异的热稳定性、紫外透过性和极低热膨胀率，提供天然熔融石英与高纯合成熔融石英等级。
- SiO₂ 纯度：99.99–99.9999%
- 热膨胀系数：0.55 × 10⁻⁶/°C
- 最高使用温度：1200°C
- 紫外透过范围：190–3500 nm
材料 02
Al₂O₃
蓝宝石
单晶 Al₂O₃
单晶氧化铝具备极高硬度、优异化学惰性和宽波段光学透过性，适用于高温观察窗、光学窗口和耐磨部件。
- 硬度：9 莫氏
- 最高使用温度：1900°C
- 透过范围：0.14–6 μm
- 化学性质：高度惰性
等级选择
石英玻璃等级对比
| 等级名称 | 对应牌号 | 纯度 | OH 含量 | 最高温度 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| 天然熔融石英 | GE-124 / KU-1 equivalent | 99.99% SiO₂ | <30 ppm OH | 1150°C continuous / 1400°C short-term | 扩散管 / 炉管 / 晶圆舟 |
| 合成熔融石英（高纯） | Equivalent to Momentive HPFS / Heraeus Suprasil | >99.9999% SiO₂ | 800–1200 ppm OH (standard) / <1 ppm OH (dry grade) | 1200°C continuous | 半导体湿法刻蚀 / CVD 腔体 / 精密光学部件 |
| 不透明熔融石英 | Milky/Translucent Grade | 99.9% SiO₂ | 1100°C | 热屏蔽件 / 扩散舟支撑件 / 隔热部件 |