熔融石英 真空夾持器與 12-inch 晶圓保持盤

  • Clear, circular 12-inch Fused Quartz vacuum suction disc with internal etched radial lines, angled on a blue surface

    • 熔融石英 真空夾持器與 12-inch 晶圓保持盤

    我們的高精度定制熔融石英真空夾持鉗和12英寸晶圓夾持盤，專為半導體晶圓處理、蝕刻及其他高科技行業的高要求應用而設計。採用高純度熔融石英製成，這些元件可實現無污染、無刮傷的處理，提供卓越的熱穩定性與化學惰性，確保在真空與高溫環境中的可靠性能。

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    材料

    • 基材：高純度合成熔融石英（SiO₂ ≥99.99%）
    • 光學級: 低羥基（OH）含量的 UV 等級透明度

    尺寸

    • 直徑 :100 mm ±0.05 mm
    • 厚度：3 mm ±0.05 mm
    • 邊緣處理：細研磨的倒角 ≤0.3 mm

     物理性質

    • 密度: 2.2 g/cm³
    • 硬度：Mohs 5.5-6.5
    • 熱膨脹: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
    • 軟化點: 1683°C

    光學性質

    • 透射範圍：190 nm (UV) 至 2500 nm (IR)
    • 折射率: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
    • Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
    • 表面平坦度: λ/4 @ 632.8 nm

    表面規格

    • Ra 粗糙度: ≤5 Å (拋光表面)
    • 平行度 : ≤1 arcmin

    化學耐性

    • 耐酸（HF除外）、水和有機溶劑

    應用

    • 光學窗口，雷射系統，UV 光刻
    • 半導體加工，高溫視窗

    認證與符合性

    • 符合 RoHS
    • 可按需提供自訂量測報告

    封裝

    • 單獨包裝於防靜電泡棉中
    • 裝於剛性、耐壓容器中運送

    備註
    避免機械衝擊或直接接觸鋒利物體
    使用 IPA 或丙酮，並以無塵布巾清潔
    如需完整技術資料或客製化需求，請聯繫 email

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