請致電：+86 0518-87284110

熔融石英環蓋與保護板

Tuguan
8 月 9, 2025

Clear Fused Quartz ring cover with concentric circles, an oval central opening, and perimeter holes

熔融石英環蓋與保護板

熔融石英環形蓋與保護板，適用於半導體設備、真空系統及光學組裝。採用高純度熔融矽石製造，並依照您的繪圖加工，這些透明元件提供出色的光學清晰度、熱穩定性、化學惰性與精確貼合度，實現可靠的密封、飛濺防護以及在敏感環境中的可視性。

申請免費諮詢

報價所需資訊

繪圖（PDF/STEP）或關鍵尺寸：外徑 Ø、內徑/開口、厚度
螺栓圓孔 Ø (BCD)，孔 Ø/數量，槽形或間隙型式，沉頭孔/埋頭孔細節
密封特徵：O-ring 溝槽的尺寸/位置、密封面寬度與表面加工、墊片介面
功能選項：視窗區域、凸起/階梯狀邊緣、對位凹槽/鍵、為避免虛擬洩漏而設的通風孔
運作條件：真空度/壓力、化學品、溫度、潔淨度目標
臨界公差：平坦度、平行度、同心度/徑向跳動；密封區與光學區的表面品質
數量（原型或批次），檢驗報告必需，包裝等級

主要規格

材料: 高純度熔融石英（SiO₂）；材料證明可於需求時提供
幾何: 圓形或多邊形的環蓋、環狀件、帶中心孔的完整板；依圖紙為單件式或多件式組裝
尺寸: 按圖製作（訂製）；為熱穩定性而確保截面厚度均勻
邊緣與表面: 火焰拋光的邊緣；經過研削/研磨的密封面與觀察面，以減少顆粒並提高密封完整性
安裝與對準: 精確的螺栓孔位、錐孔/平底孔、定位銷/定位特徵；可選的雷射零件ID/方向標記
潔淨度: 超聲波/DI 清洗與 Class-100 相容包裝

材料特性（典型值）

對大多數製程介質具有優異的化學耐受性（注意：HF會腐蝕熔融石英）
極低的熱膨脹與良好的耐熱衝擊性
電氣絕緣、低逸出；用於觀察/對位的高光學透明度。

處理與設計說明

密封面的寬度與表面處理及O-ring 槽的幾何
在暴露於真空的盲孔特徵上添加通風以防止虛擬洩漏
使用充裕的內部半徑與去毛刺的邊緣以降低應力與顆粒產生
我們可以根據尺寸/幾何基礎，提供可實現的平整度、平行度、同心度與跳動公差建議

檢查與測試

尺寸驗證：Ø 外徑/Ø 內徑/厚度、螺栓孔圓、孔 Ø/位置、槽寬/位置
密封表面與光學表面的平整度與平行度檢查
100% 視覺檢查碎片、微裂紋、夾雜物與汙染
選擇性：氦氣漏洩測試（組裝）、表面精加工驗證、潔淨度報告。

應用

腔體蓋與觀測視窗、環形保護板、濺射防護罩用於濕式工作台、真空門介面、在計量或光刻子系統中的光學板與對準板

包裝與儲存

邊緣護條與光學/封口區域的保護薄膜；防靜電、真空密封包裝，外部保護堅固。請在乾燥環境下保存（相對濕度 <40%）於 10–30 °C；避免含 HF 的化學品。

備註
可依需求提供客製化配置（孔型、鍍膜或額外標記）。
隨大宗訂單提供合規證書（RoHS、ISO 9001）

快速詢問

如果您想了解更多熔融石英或尋找熔融石英解決方案？請聯絡我們取得專業服務

透過電子郵件或電話 24/7 提供服務，協助您購買我們的熔融石英產品、提供解決方案、處理使用問題或提供技術支援。