熔融石英曲線板與爐管內襯

熔融石英曲線板與爐管內襯

熔融石英弧形板與半管襯裡,專為半導體工具、化學處理與工業窯爐中的高溫高純環境而設計。採用高純度熔融石英製成,邊緣光滑且無毛刺,這些零件提供卓越的熱穩定性、化學惰性與精密貼合度—提供可靠的保護、潔淨的流動與長久的使用壽命。


報價所需資訊

  • 圖面(PDF/STEP)或關鍵尺寸:內半徑/外半徑(或管材的 ID/OD),弧角(例如 90°/120°/180°),長度,厚度
  • 幾何:單一曲面板、半管、四分之一圓柱,或分段襯裡;重疊式接合或對接接合風格
  • 端部與邊緣細節:方形或圓角端部、唇緣/法蘭、卡舌、倒角/斜切;任何槽、孔或開口。
  • 介面與裝配:連接管或框架尺寸、襯裡與牆面之間的目標間隙、接觸/定位區、安裝或夾緊方式
  • 操作條件:化學、最大溫度與循環熱變化、真空/壓力(如有)、潔淨度等級。
  • 關鍵公差:輪廓/半徑精度、直線度、平行度、圓度/沿弧的跳動
  • 數量(原型或批次);請求的檢查報告與包裝等級

主要規格

  • 材料: 高純度熔融石英(SiO₂);材料證明書可按需求提供
  • 幾何: 曲面板、半管內襯、四分段、分割套筒與客製弧段—單體式或火焰熔融組件。
  • 尺寸: 依據圖紙(定製)壁厚均勻以實現熱穩定性
  • 邊緣與表面: 經火焰拋光的邊緣;磨削或拋光的功能表面。光滑半徑以降低顆粒產生。
  • 可選功能: 減壓孔/排氣孔、對位凹槽/鍵、O-ring 溝槽或密封凸台、定位凸台。
  • 變體: 不透明(OP)石英可用於增加熱遮蔽;透明的熔融石英可用於視覺檢查
  • 潔淨度: 超音波/DI 清洗; Class-100 相容包裝

材料特性(典型值)

  • 極低的熱膨脹與良好的熱衝擊耐受性
  • 對大多數製程介質具有優異的化學耐受性(注意:HF會腐蝕熔融石英)
  • 電氣絕緣、低逸出氣體;在需要透明度時光學上潔淨

處理與設計說明

  • 定義半徑是否以某基準為參考 內部的外部的 表面;保持牆厚均勻以降低應力
  • 允許膨脹間隙並符合規範的夾緊以避免熱循環期間的應力
  • 在過渡處加大圓角半徑,並去除所有邊緣的毛刺,以防止剝落和粒子陷阱。
  • 對於分段襯裡,請說明接縫的重疊/間距,以及任何防止旋轉的特徵。
  • 我們可以根據尺寸與幾何特徵,建議半徑/輪廓的可行公差、平整度/直線度,以及跳動公差。

檢查與測試

  • 尺寸驗證:半徑/弧角/長度/厚度;沿弧的輪廓公差;孔位與槽位的位置
  • 基準面上的平坦度/直線度檢查;相對於基準面的圓度/跳動
  • 100% 視覺檢查碎片、微裂紋、夾雜物與汙染
  • 可選:雙折射/應力評估與清潔度報告

應用

爐管內襯與分割式套筒、隔熱屏與防濺護罩、保護性擋板、曲面窗戶或導向裝置,適用於高純度與高溫工藝的(擴散/氧化/CVD、濕式工作台,以及實驗室爐)

包裝與儲存

邊緣護條與曲線分隔器。抗靜電、真空密封包裝與堅固的外部保護;請於乾燥狀態儲存,相對濕度<40%於10–30 °C,並避免接觸含 HF 的化學品。

備註
可依需求提供客製化配置(孔型、鍍膜或額外標記)。
隨大宗訂單提供合規證書(RoHS、ISO 9001)

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