Прецизионные опорные кольца из плавленого кварца и компоненты процесса

  • Large, semi-transparent Fused Quartz ring with internal radial support fins and a central opening.
  • Two Fused Quartz support rings, one larger with internal fins, one smaller with cylindrical internal supports.

    • Прецизионные опорные кольца из плавленого кварца и компоненты процесса

    Опорные кольца из плавленого кварца и процессные компоненты, предназначенные для полупроводникового производства, плазменного травления и прочих высокотемпературных, высокочистых условий. Изготовлены из высокочистого плавленого кварца и оптимизированы для жесткости и потока, эти детали обеспечивают отличную тепловую стабильность, химическую инертность и точный размерный контроль — обеспечивая надёжную опору, зазоры и поток процесса.

    Запросить бесплатную консультацию

    Что предоставить для запроса цены

    • Чертеж (PDF/STEP) или ключевые размеры: OD / ID / толщина. Любые ступени, выступы или выемки.
    • Функция и интерфейс: сопрягаемые детали (зажим/пластина/труба), целевой зазор кольцо-деталь, уплотнения и посадочные поверхности
    • Особенности: болтовой круг и размер/количество отверстий; конусное зенкование / цилиндрическое зенкирование; ключи выравнивания / выемки; вентиляционные/дренажные отверстия
    • Детали потока и жесткости: ребра/пазы/опорные стойки (высота/шаг), карманы для снижения массы, требования к траектории потока воздуха.
    • Условия эксплуатации: химия вакуума/плазмы, максимальная температура, цель чистоты
    • Критические допуски: плоскостность, параллельность, концентричность/радиальное биение; отделка поверхности функциональных граней.
    • Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección requeridos, nivel de embalaje

    Основные характеристики

    • Материал: Плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат материала по запросу
    • Геометрия: Плоские или ступенчатые кольца; стили с двойной губой/кромкой; кольца с ребрами/щелями/опорными элементами; кольцевые пластины с отверстиями; монолитные или пламенноплавленные сборки
    • Размеры: По чертежу (изготавливается под заказ) с равномерной толщиной секции для термической устойчивости
    • Функции потока и поддержки Радиальные ребра и продольные щели для управляемого газового потока и жесткости. Равномерно размещённые вентиляционные отверстия предотвращают виртуальные утечки и повышают эффективность продувки.
    • Грани и поверхности: огнеполированные кромки; зашлифованные и отполированные функциональные поверхности; плавные радиусы для минимизации образования частиц
    • Выравнивание и монтаж: Точные схемы расположения болтов, конусные зенкования и цилиндрические зенковки; особенности штифтов; опциональная лазерная идентификация детали/ориентационная метка.
    • Вариант: непрозрачный (OP) плавленый кварц доступен там, где требуется дополнительная термозащита
    • Чистота: Ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100

    Свойства материала (типичные)

    • Очень низкое термическое расширение и хорошая стойкость к термическому шоку
    • Отличная химическая стойкость к большинству технологических сред (примечание: HF разъедает плавленый кварц)
    • Электроизолирующий, с низким выделением газов; оптически чистый, когда требуется прозрачность

    Заметки по обработке и проектированию

    • Поддерживайте одинаковую толщину стенки и используйте большие внутренние радиусы, чтобы снизить концентрацию напряжений.
    • Определите ширину посадочной поверхности/финишную обработку и любую геометрию канавки под уплотнение O-кольца, чтобы обеспечить требуемый уровень утечки, если она используется для уплотнения
    • Вентиляционные слепые/резьбовые отверстия, подверженные вакууму, чтобы избежать виртуальных утечек
    • Ребра/стойки повышают жесткость и зазор—укажите высоту, толщину и шаг; добавьте полости для снижения массы там, где масса имеет значение
    • Мы можем предложить допустимые допуски для плоскостности, параллельности, коаксиальности и биения в зависимости от размера и геометрии

    Инспекция и испытания

    • Измерение размеров: внешний диаметр/внутренний диаметр/толщина, высоты и ширины ступеней. Расстояния между ребрами и пазами, болтовой круг и положения отверстий.
    • Проверки плоскостности и параллельности опорных и уплотняющих поверхностей; радиальное биение относительно базовой поверхности
    • 100% визуальный контроль на предмет сколов, микротрещин, включений и загрязнений
    • Опционально: тест на утечку гелия (сборка), проверка отделки поверхности, оценка двойного преломления и напряжения, отчет о чистоте

    Применения

    Опорные и дистанционные кольца на зажимах/пластинах, кольца для кондиционирования потока и промывки для инструментов плазмы/CVD, щиты от брызг/частиц, кольца выравнивания и обработки для держателей пластин/ваферов в условиях высоких температур или коррозии

    Упаковка и хранение

    Защитные упоры по краям и разделители; антистатичная, вакуумная упаковка с прочной внешней защитой. Хранить в сухом месте (<40% относительной влажности) при 10–30 °C; держать подальше от HF-содержащих химикатов.

    Примечания
    Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
    Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах

    Быстрый запрос

    Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

    Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

    Имя (копия)
    ru_RUРусский
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 ru_RUРусский