Опоры из плавленого кварца и держатели процессов

  • Clear Fused Quartz support frame with multiple angled bars and flat mounting points, held by a gloved hand

    • Опоры из плавленого кварца и держатели процессов

    Плавленый кварц обеспечивает опоры, рамы и держатели, разработанные для обработки подложек, CVD, плазменных инструментов, мокрых стендов и печей высокой температуры. Изготовленные из высокочистого плавленого кварца и собранные прецизионной пламенной плавкой, эти принадлежности обеспечивают отличную термическую стабильность, химическую инертность и точный контроль размеров — обеспечивая чистую, устойчивую опору и надёжную обработку в критических условиях.

    Запросить бесплатную консультацию

    Что предоставить для запроса цены

    • Чертёж (PDF/STEP) или ключевые размеры: габаритные размеры, диаметр рельса/штанги, высота выносной стойки, точки интерфейса
    • Грузоподъёмная нагрузка и интерфейс: размер/масса детали, которую нужно удерживать (wafer/boat/substrate), количество контактных точек, целевые зазоры
    • Режим использования: статическая опора против переноса/обработки роботом; схема монтажа или дизайн крючка/ножки
    • Среда: химикаты, вакуум/давление, максимальная температура и профиль теплового цикла
    • Поверхность и контакт: полированные накладки против шлифованной отделки; радиусы кромок и фаски, чтобы предотвратить царапины
    • Критические допуски: плоскостность/квадратность, параллельность, допустимое прогибание под нагрузкой
    • Количество (прототип или партия), требуются отчеты по инспекции, уровень упаковки/чистоты

    Основные характеристики

    • Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
    • Геометрия: Рамы, стеллажи, люльки, носители, кронштейны и поперечные распорки. Монолитные или пламенеплавленные сборки
    • Размеры: По чертежу (изготавливается под заказ) с равномерной толщиной секции для термической устойчивости
    • Особенности: Стойки/ножки, рельсы, язычки/крючки, выравнивающие ключи или штифты, карманы для облегчения веса, дренажные/вентиляционные отверстия
    • Конструкция: Прецизионная обработка с гладкими, без стружки соединениями. Отпуск напряжений доступен.
    • Финиш поверхности: Кромки, отполированные пламенем; контактные площадки, отполированные для бесцарапного обращения; радиусы без заусенцев на всех точках контакта
    • Чистота: Ультразвуционная очистка/DI; упаковка, совместимая с Class-100; опциональный ID детали лазера/ориентационная метка

    Свойства материала (типичные)

    • Очень низкое термическое расширение и хорошая стойкость к термическому шоку
    • Отличная химическая стойкость к большинству технологических сред (примечание: HF разъедает плавленый кварц)
    • Электрически изолирующий, с низким выделением газов; оптически чистые поверхности для инструментов, чувствительных к загрязнениям.

    Заметки по обработке и проектированию

    • Держите толщину стенки и стержня одинаковой и добавьте щедрые скругления на соединениях, чтобы минимизировать концентрацию напряжений
    • Определить размер/отделку контактной площадки и допустимый зазор до полезной нагрузки, чтобы избежать микрочипирования и ловушек частиц
    • Используйте крестовые распорки или ребра, когда жесткость и малая деформация критически важны; укажите целевой прогиб под нагрузкой
    • Провентилируйте слепые полости/отверстия, которые подвергаются вакууму, чтобы предотвратить виртуальные утечки
    • Мы можем рекомендовать практические допуски на плоскостность, квадратность, параллельность и радиальное биение в зависимости от размера, геометрии и нагрузки.

    Инспекция и испытания

    • Габаритная проверка: общие размеры, высота зазора, расстояние между направляющими и стержнями, положения отверстий; проверки квадратности и параллельности
    • Визуальный контроль: 100% проверка на сколы, микротрещины, включения и загрязнение.
    • Опционально: оценка двойного преломления/напряжения; испытание на нагрузку/изгиб; отчет о чистоте

    Применения

    Баржа для ваферов и опоры подложек, рамы зоны нагрева печи, стойки и носители влажной обработки, приспособления передачи для роботизированной или ручной обработки, устройства для выравнивания и задания зазоров в инструментах CVD/Этч/Чистка.

    Упаковка и хранение

    Защитные колпачки на контактных концах, упоры по краям и разделители; антистатичная вакуумная упаковка с жестким внешним защитным слоем. Хранить сухими (<40% RH) при 10–30 °C и вдали от химических веществ, содержащих HF.

    Примечания
    Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
    Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах

    Быстрый запрос

    Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

    Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

    Имя (копия)
    ru_RUРусский
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 ru_RUРусский