Кольца из плавленого кварца и компоненты процесса

  • White gloved hand holding a semi-transparent Fused Quartz ring with a double-grooved profile
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with multiple clear cylindrical supports and a central opening
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with a large central opening and outer edge cutouts

    • Кольца из плавленого кварца и компоненты процесса

    Кольца из плавленого кварца и процессные компоненты, разработанные для полупроводников, плазменного травления и вакуумных применений. Обработанные по вашим чертежам из высокочистого плавленого кварца, эти детали обеспечивают отличную термическую стабильность, химическую инертность и точный размер — идеально подходят для уплотнений, зазоров, экранирования и обращения в условиях высоких температур и коррозии.

    Запросить бесплатную консультацию

    Что предоставить для запроса цены

    • Чертеж (PDF/STEP) или ключевые размеры: OD / ID / толщина. Любые ступени, выступы или выемки.
    • Функция и интерфейс: ширина и отделка уплотнительной поверхности. Зазор кольцо-деталь и сочетаемые детали (трубка, пластина, дверь, зажим).
    • Характеристики: шаблон отверстий под болты (BCD, количество отверстий), зенкования/контрбуровые отверстия, выемки/ключи выравнивания, вентиляционные отверстия, канавки под уплотнение O‑ring
    • Опциональные элементы: дистанционные стойки/посты, карманы, геометрия тени/губы, защитные экраны от расплескивания, ID детали лазера/маркировка ориентации
    • Условия эксплуатации: уровень вакуума/давления, плазма/химия, максимальная температура, цель чистоты.
    • Критические допуски: плоскостность, параллельность, концентричность/цилиндрическое биение. Требуемое качество поверхности на функциональных поверхностях.
    • Количество (прототип или серия), требуемые отчёты по инспекции, уровень упаковки

    Основные характеристики

    • Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
    • Геометрия: Плоские кольца, ступенчатые/кольца с двойной губой, кольца в форме пончика с отверстиями, кольца с опорными выступами/штифтами или встроенными экранами; монолитные или пламенеплавленные сборки
    • Размеры: По чертежу (изготавливается по заказу); одинаковая толщина сечения для термической стабильности
    • Грани и поверхности: огнеполированные кромки; зашлифованные или отполированные уплотнительные и обзорные поверхности; плавные радиусы, минимизирующие образование частиц
    • Монтаж и выравнивание: Точные болтовые окружности, конусные зенкования/контрбуры, особенности посадочных штифтов; опциональная лазерная маркировка
    • Чистота: Ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100
    • Вариант: Непрозрачный кварц (OP) доступен, когда требуется дополнительная термическая защита

    Свойства материала (типичные)

    • Очень низкое тепловое расширение, хорошая устойчивость к термическим ударам
    • Отличная химическая стойкость к большинству технологических сред (примечание: HF разъедает плавленый кварц)
    • Электрически изолирующий, с низким газообразованием; оптически чист там, где нужна прозрачность.

    Заметки по обработке и проектированию

    • Определите ширину и отделку зоны уплотнения и любую геометрию канавки под уплотнение O-ring, чтобы достигнуть заданного уровня утечки
    • Провентилируйте слепые или резьбовые отверстия, которые подвергаются вакууму, чтобы предотвратить виртуальные утечки
    • Поддерживайте равномерную толщину стенки и используйте щедрые внутренние радиусы, чтобы снизить напряжение
    • Опоры и стойки улучшают зазор и поток воздуха. Укажите высоту и диаметр, а также отделку конца.
    • Мы можем предложить допустимые допуски для плоскостности, параллельности, коаксиальности и биения в зависимости от размера и геометрии

    Инспекция и испытания

    • Проверка размерности: OD/ID/thickness, step heights/widths, bolt circle, hole Ø/positions; post/standoff height
    • Проверка плоскостности и параллельности уплотнительных и опорных поверхностей; биение относительно базовой поверхности
    • 100% визуальный контроль на предмет сколов, микротрещин, включений и загрязнений
    • Опционально: тест на утечку гелия (сборка), проверка отделки поверхности, оценка двойного преломления и напряжения, отчет о чистоте

    Применения

    Уплотнительные кольца для концов печи и труб и вакуумных дверей, проставочные и поддерживающие кольца, защитные экраны от брызг и частиц, кольца выравнивания и захвата. Кольчатые защитные пластины для травления, CVD/PECVD, диффузии/окисления, подсистем мокрой лаборатории и метрологии.

    Упаковка и хранение

    Защита кромок и разделители; антистатичная вакуумная упаковка с прочной внешней защитой. Хранить в сухом виде (<40% RH) при 10–30 °C и вдали от химикатов, содержащих HF.

    Примечания
    Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
    Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах

    Быстрый запрос

    Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

    Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

    Имя (копия)
    ru_RUРусский
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 ru_RUРусский