Позвоните нам: +86 0518-87284110
Непрозрачные кольца из плавленого кварца (OP) для высокотемпературных процессов
Кольца OP (opaque) из плавленого кварца для высокотемпературных и высокочистых применений: герметизация печей для полупроводников, опоры торцов труб и тепловые экраны горячей зоны. Изготовлены из опакового высокочистого плавленого кварца с однородной структурой микропузырьков; обеспечивают тепловую стабильность, химическую стойкость и точный размерный контроль для надежной работы без загрязнений
Что предоставить для запроса цены
- Чертеж (PDF/STEP) или ключевые размеры. Наружный/внутренний диаметр, толщина, высоты и ширины ступеней.
- Соединительные детали и интерфейс: трубка печи OD/ID, дверная пластина, зажимные поверхности, детали уплотнения или канавки
- Особенности: профили с двойной губой и ступенчатые, выемки/ключи для выравнивания, отверстия под болты и конусные зенковки, вентиляционные отверстия, фаски.
- Условия эксплуатации: максимальная температура, профиль термических циклов, атмосфера/химические вещества.
- Критические допуски: плоскостность, параллельность, концентричность/биение; требуемая шероховатость поверхности на уплотнительных уступах
- Количество (прототип или партия). Необходимы отчеты об инспекции; уровень упаковки/чистоты.
Основные характеристики
- Материал: Непрозрачный (опакованный) высокочистый плавленый кварц (SiO₂); сертификат материала по запросу доступен.
- Геометрия: Плоские кольца, ступенчатые или с выступами, кольца с двойной губой, сегментированная или монолитная конструкция. Полностью по чертежу
- Функциональные поверхности: Отшлифованные и полированные уплотнительные поверхности для устойчивого контакта; плавные радиусы для снижения образования частиц
- Тепловая функция: Микропузырьковая структура улучшает рассеяние ИК-излучения и теплоизоляцию, помогая стабилизировать температуру горячей зоны и снижать теплопотери.
- Сборка: Точная обработка с соединениями, выполненными плавлением пламени, по мере необходимости; отпуск для снятия напряжений доступен
- Чистота: Ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100, с защитными уголками
Свойства материала (типичные)
- Высокая термическая устойчивость и низкое тепловое расширение; хорошая устойчивость к термическому удару
- Отличная химическая инертность по отношению к большинству процессных газов/химикатов (примечание: HF атакует плавленый кварц)
- Электроизолирующий, с низким выделением газов; однородная непрозрачность для стабильного теплового поведения.
Заметки по обработке и проектированию
- Сохраняйте равномерную толщину сечения. Используйте щедрые внутренние радиусы, чтобы минимизировать концентрацию напряжений.
- Укажите вентиляционные отверстия и контрсверленные отверстия на сквозных отверстиях, подверженных вакууму, чтобы избежать виртуальных утечек
- Определите ширину и отделку уплотнительной площадки, а также допустимый зазор между кольцом и трубкой, чтобы обеспечить герметичность и выравнивание.
- Определите ширину и отделку уплотнительной площадки, а также допустимый зазор между кольцом и трубкой, чтобы обеспечить герметичность и выравнивание.
- Мы можем порекомендовать осуществимые допуски на плоскость, параллельность, соосность и радиальное биение в зависимости от размера/геометрии
Инспекция и испытания
- Проверка размерности (OD/ID/толщина; высоты ступеней/ширины; опорные точки)
- Проверки плоскостности и параллелизма и радиального биения уплотнительных посадочных поверхностей и опорных поверхностей
- Визуальный осмотр на предмет сколов, микротрещин и включений; оценка однородности опалесценции.
- Опционально: оценка двойного преломления/напряжения; отчет об проверке чистоты
Применения
Уплотнение торца печной трубки и поддержка. Кольца нагревательной зоны LPCVD/окисления, тепловые экраны/рефлекторы, интерфейсы дверь-плата; процессы диффузии и отжига, требующие высокой чистоты и стабильных температурных полей.
Упаковка и хранение
Кольцевые разделители и защитные элементы по краям; антистатическая, вакуумно запечатанная упаковка с жесткой внешней защитой. Хранить в сухом месте (<40% RH) при 10–30 °C и вдали от химических веществ, содержащих HF.
Примечания
Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах