Позвоните нам: +86 0518-87284110
Форсунки и флюидные компоненты
Сопла из плавленого кварца, распылительные головки, инжекторы, диффузоры и жидкостные коллекторы, разработанные для инструментов полупроводников, ALD/CVD, мокрых рабочих станций и химических/лабораторных систем. Изготовленные из высокочистой плавленого кварца и точно обработанные по вашему чертежу, эти детали обеспечивают отличную химическую инертность, термическую стабильность и точную, чистую подачу газов и жидкостей в вакуумных и высокотемпературных условиях.
Что предоставить для запроса цены
- Чертеж (PDF/STEP) или ключевые размеры: размер корпуса, толщина стенок, положения портов
- Среда и цели: газ/жидкость, диапазон расхода, давление/вакуум, стиль распылительного конуса или струи
- Детали отверстия: диаметр, количество, шаг, положение; одиночное отверстие или множественные отверстия; внутренний диффузор/спаргер при необходимости
- Детали коллектора/канала (при необходимости): компоновка, форма поперечного сечения, зоны смешивания, пределы мёртвого объёма
- Типы соединений: резьбовые концы, шланговые штуцеры, компрессионные фитинги, KF/ISO-фланцы или адаптеры на заказ
- Критические допуски и шероховатость поверхностей зон, контактирующих с жидкостью; уровень чистоты
- Количество (прототип или партия), отчеты об инспекции, уровень упаковки
Основные характеристики
- Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
- Типы: форсунки/инжекторы, головки распыления, диффузоры/спаржеры, распределительные коллекторы, микро-реактор или блоки смешения
- Размеры: По чертежу (изготовление по заказу) с равномерной толщиной стенки для тепловой стабильности
- Отверстия и проходы Просверлено лазером или травлено; одиночные или многоточечные массивы; геометрия канала по проекту.
- Подключения: Резьбы, штуцеры с насадками (barbs), интерфейсы компрессии или фланцевые интерфейсы; особенности выравнивания и идентификация лазерной детали по запросу
- Финиш поверхности: Кромки, отполированные пламенем; зашлифованные или отполированные увлажнённые поверхности для минимизации образования частиц
- Конструкция: Точная обработка с соединениями, образованными плавлением пламени. Опциональные приклеиваемые крышки-панели для дизайна коллекторов
- Чистота: Ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100
- Сервисное уведомление: Предназначен для работы в вакууме или при низком давлении. Любая номинальная величина давления зависит от конструкции и испытаний.
Свойства материала (типичные)
- Отличная химическая стойкость к большинству кислот, щелочей и органических растворителей (примечание: HF атакует плавленый кварц)
- Очень низкое тепловое расширение с высокой термостойкостью к термическому удару
- Электрически изолирующий, низкое газовыделение; оптически чистые поверхности
Заметки по обработке и проектированию
- Используйте щедрые радиусы на внутренних переходах, чтобы снизить напряжение и ловушки частиц
- Соблюдайте одинаковые длины участков и поперечных сечений, чтобы обеспечить равномерное распределение потока
- Вентилируйте проходные отверстия, подвергающиеся вакууму, чтобы избежать виртуальных утечек; укажите допустимую скорость утечки
- Выберите стандарты соединений, соответствующие дальнейшей трубопроводной магистрали; избегайте острых резьб на тонких участках
- Мы можем указать практические допуски для размера/шага отверстия, концентричности, прямоты и шероховатости поверхности на основе геометрии.
Инспекция и испытания
- Проверка размеров: размеры корпуса, расположение портов, размер отверстий и расстояние между ними; геометрия каналов (для коллекторов).
- Опционально: тест на утечку гелием (вакуумные узлы). Испытание давлением/удержанием по проекту и характеристика расхода
- 100% визуальный контроль на предмет сколов, микротрещин, включений и загрязнений
- Доступны сертификаты чистоты и прослеживаемость материалов
Применения
Ввод и распределение газов процесса, подача прекурсоров ALD/CVD. Распылительное травление/промывание, микрофлюидное смешивание и дозирование, парово- и жидкостные манифолды для аналитических приборов и линий высокочистых химикатов.
Упаковка и хранение
Антистатическая вакуумная упаковка с ударопоглощающей пеной и защитными колпачками на портах и отверстиях. Хранить в сухом месте (<40% RH) при 10–30 °C; держитесь подальше от химических веществ, содержащих HF.
Примечания
Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах
Русский 
English 
Español 
Français 
Deutsch 
العربية 
Português do Brasil 
日本語 
한국어 
繁體中文