Захваты из плавленого кварца и инструменты для обращения с вафлями

Захваты из плавленого кварца и инструменты для обращения с вафлями

Заказные захваты и конечные эффектор из плавленого кварца, разработанные для ультра-чистого обращения с вафлями и точной передачи компонентов в автоматизации полупроводников и чистых помещений. Изготовленные из высокочистого плавленого кварца и обработанные так, чтобы снизить образование частиц, эти инструменты обеспечивают отличную химическую инертность, термическую устойчивость и гладкий, не царапающий контакт с чувствительными подложками.


Что предоставить для запроса цены

  • Предоставлен чертеж (PDF/STEP) или указаны ключевые размеры. Размеры: общие размеры, ширина отверстия вилки и горла, ширина контактной площадки и толщина.
  • Размер пластины (вафля) и метод обработки (ручной/роботизированный), узор крепления или интерфейс захвата
  • Требования к кромкам/обработке: фаска/срез, отполированные контактные поверхности, противоскользящая текстура по мере необходимости
  • Эксплуатационные условия: химические вещества, температура, класс вакуумной/чистой комнаты; требования к ESD или защите от света, при наличии.
  • Критические допуски (плоскостность, параллельность, симметрия) и допустимый прогиб
  • Количество (прототип или партия); отчёты по инспекции и уровень упаковки

Основные характеристики

  • Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
  • Геометрия: Y-образная вилка / U-образная вилка / лопасть / ковш / кольцевого типа эффектор; монолитный или сборный с ребрами для прочности. Может быть выполнен как монолитный элемент или как сборная конструкция с ребрами для повышения жесткости.
  • Размеры: По чертежу (изготавливается по заказу); сбалансированная масса и центр тяжести для ручного или роботизированного использования
  • Контактные области: Полностью отполированные поверхности с минимальным количеством частиц; закругленные кромки для защиты кромки вафера и выемки
  • Особенности: Выравнивающие выемки, рельефные углубления для задних элементов, вакуумные прорези/вырезы, отверстия для рукояти или крепления робота, конусные углубления, лазерная идентификация
  • Отделка кромок и поверхности: 【正文】кромки, отполированные огнем; функциональные поверхности шлифованные или оптически полированные; опциональная микро-структура для захвата
  • Чистота: Ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100

Свойства материала (типичные)

  • Отличная химическая стойкость (примечание: HF атакует плавленый кварц)
  • Очень низкое термическое расширение и хорошая стойкость к термическому шоку
  • Электрически изолирующий, с низким газовыделением. Оптически чистая поверхность для обработки, чувствительной к загрязнениям.

Заметки по обработке и проектированию

  • Используйте щедрые радиусы кромки и отполированные контактные площадки, чтобы предотвратить микросколы и царапины
  • Сохраняйте симметрию вилки и ширину горловины последовательно, чтобы обеспечить равную опору. Добавляйте ребра там, где требуется жесткость.
  • Предоставьте схему монтажа или геометрию рукоятки, совместимую с вашими инструментами/роботами
  • Добавьте рельефные элементы, чтобы избежать контакта с задними пленками, выпуклостями или калибровочными метками
  • Мы можем указать практические допуски на плоскостность, параллельность и прогиб в зависимости от размера и геометрии.

Инспекция и испытания

  • Проверка размеров: общие размеры, отверстие вилки, толщина, монтажный узор
  • Проверки плоскостности и параллельности контактных поверхностей
  • 100% визуальная инспекция сколов, микротрещин и загрязнений. Опциональная проверка двойной преломляемости и напряжения
  • Отчет о проверке чистоты по запросу

Применения

Ручная и роботизированная загрузка/разгрузка ваферов, метрология и инспекция, очистка и перенос на влажном столе, операции с носителями/FOUP/SMIF, прецизионная обработка хрупких стеклянных/керамических компонентов

Упаковка и хранение

Защитные поверхности контактов и разделители; антистатичная вакуумная упаковка с прочной внешней защитой. Хранить в сухом виде (<40% относительной влажности) при 10–30 °C и вдали от химикатов, содержащих HF.

Примечания
Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах

Быстрый запрос

Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

Имя (копия)
ru_RUРусский