Позвоните нам: +86 0518-87284110
Захваты из плавленого кварца и инструменты для обращения с вафлями
Заказные захваты и конечные эффектор из плавленого кварца, разработанные для ультра-чистого обращения с вафлями и точной передачи компонентов в автоматизации полупроводников и чистых помещений. Изготовленные из высокочистого плавленого кварца и обработанные так, чтобы снизить образование частиц, эти инструменты обеспечивают отличную химическую инертность, термическую устойчивость и гладкий, не царапающий контакт с чувствительными подложками.
Что предоставить для запроса цены
- Предоставлен чертеж (PDF/STEP) или указаны ключевые размеры. Размеры: общие размеры, ширина отверстия вилки и горла, ширина контактной площадки и толщина.
- Размер пластины (вафля) и метод обработки (ручной/роботизированный), узор крепления или интерфейс захвата
- Требования к кромкам/обработке: фаска/срез, отполированные контактные поверхности, противоскользящая текстура по мере необходимости
- Эксплуатационные условия: химические вещества, температура, класс вакуумной/чистой комнаты; требования к ESD или защите от света, при наличии.
- Критические допуски (плоскостность, параллельность, симметрия) и допустимый прогиб
- Количество (прототип или партия); отчёты по инспекции и уровень упаковки
Основные характеристики
- Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
- Геометрия: Y-образная вилка / U-образная вилка / лопасть / ковш / кольцевого типа эффектор; монолитный или сборный с ребрами для прочности. Может быть выполнен как монолитный элемент или как сборная конструкция с ребрами для повышения жесткости.
- Размеры: По чертежу (изготавливается по заказу); сбалансированная масса и центр тяжести для ручного или роботизированного использования
- Контактные области: Полностью отполированные поверхности с минимальным количеством частиц; закругленные кромки для защиты кромки вафера и выемки
- Особенности: Выравнивающие выемки, рельефные углубления для задних элементов, вакуумные прорези/вырезы, отверстия для рукояти или крепления робота, конусные углубления, лазерная идентификация
- Отделка кромок и поверхности: 【正文】кромки, отполированные огнем; функциональные поверхности шлифованные или оптически полированные; опциональная микро-структура для захвата
- Чистота: Ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100
Свойства материала (типичные)
- Отличная химическая стойкость (примечание: HF атакует плавленый кварц)
- Очень низкое термическое расширение и хорошая стойкость к термическому шоку
- Электрически изолирующий, с низким газовыделением. Оптически чистая поверхность для обработки, чувствительной к загрязнениям.
Заметки по обработке и проектированию
- Используйте щедрые радиусы кромки и отполированные контактные площадки, чтобы предотвратить микросколы и царапины
- Сохраняйте симметрию вилки и ширину горловины последовательно, чтобы обеспечить равную опору. Добавляйте ребра там, где требуется жесткость.
- Предоставьте схему монтажа или геометрию рукоятки, совместимую с вашими инструментами/роботами
- Добавьте рельефные элементы, чтобы избежать контакта с задними пленками, выпуклостями или калибровочными метками
- Мы можем указать практические допуски на плоскостность, параллельность и прогиб в зависимости от размера и геометрии.
Инспекция и испытания
- Проверка размеров: общие размеры, отверстие вилки, толщина, монтажный узор
- Проверки плоскостности и параллельности контактных поверхностей
- 100% визуальная инспекция сколов, микротрещин и загрязнений. Опциональная проверка двойной преломляемости и напряжения
- Отчет о проверке чистоты по запросу
Применения
Ручная и роботизированная загрузка/разгрузка ваферов, метрология и инспекция, очистка и перенос на влажном столе, операции с носителями/FOUP/SMIF, прецизионная обработка хрупких стеклянных/керамических компонентов
Упаковка и хранение
Защитные поверхности контактов и разделители; антистатичная вакуумная упаковка с прочной внешней защитой. Хранить в сухом виде (<40% относительной влажности) при 10–30 °C и вдали от химикатов, содержащих HF.
Примечания
Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах