Трубки из плавленого кварца для CVD полупроводников

  • Large, clear Fused Quartz furnace tube with multiple complex branches and a frosted end.

    • Трубки из плавленого кварца для CVD полупроводников

    Наши трубки печи из плавленого кварца высокой чистоты разработаны на заказ для требовательной обработки полупроводниковых ваферов, высокотемпературного отжига, CVD и диффузионных печей. Эти прочные трубки выдерживают до 1200°C (макс. 1450°C), устойчивы к кислотам и коррозионным газам и обеспечивают низкую тепловую деформацию для размерной стабильности в условиях вакуума или низкого давления; доступны индивидуальные модификации.

    Запросить бесплатную консультацию

    Спецификации материалов

    • Основной материал: плавленый кварц (SiO₂ ≥ 99.9%)
    • Плотность 2.2 g/cm³
    • Термостабильность Устойчив к термическому удару до 1200°C (непрерывное использование)

    Размеры

    • Внешний диаметр: 415 mm / ±1.5 mm
    • Внутренний диаметр: 405 mm / ±1.0 mm
    • Толщина стенки: 5 mm / ±0.5 mm
    • Длина: 2300 mm / ±5 mm

    Технические параметры

    • Максимальная рабочая температура: 1200°C (кратковременный пик: 1450°C)
    • Устойчивость к давлению: Выдерживает 1 атм (вакуумные или среды низкого давления)
    • Коэффициент теплового расширения: 0.55 × 10⁻⁶ /°C (20–1000°C)
    • Финиш поверхности: Гладкая, непористая, промыта кислотой

    Ключевые характеристики

    • Крайне высокая чистота для процессов, чувствительных к загрязнению
    • Отличная химическая стойкость к кислотам, галогенам и большинству коррозионно-агрессивных газов
    • Низкое тепловое расширение обеспечивает размерную стабильность

    Применения

    • Обработка полупроводниковых пластин
    • Высокотемпературный отжиг, печи CVD или диффузионные печи
    • Лабораторные исследования и оптические отрасли

    Упаковка и обращение

    • Упаковка: Деревянный ящик с поролоновой набивкой
    • Хранение: Держите в сухом месте, избегайте прямого солнечного света и храните горизонтально

    Примечания

    • Избегайте механических ударов или резких изменений температуры (>200°C/min)
    • Индивидуальные модификации (например, фланцы, покрытия) доступны по запросу.

    Для детальной технической поддержки или оптовых заказов обратитесь к нашей инженерной команде.

    Быстрый запрос

    Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

    Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

    Имя (копия)
    ru_RUРусский
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 ru_RUРусский