Плавленый кварц фокусировочные и плазменные кольца для травления и CVD

Что предоставить для запроса цены

• Чертёж (PDF/STEP) или ключевые размеры: внешний диаметр, внутренний диаметр, толщина, высоты и ширины ступеней.
• Размер и ориентация пластины (например, 200/300 мм; положение выемки), целевой зазор между кольцом и вафером.
• Особенности: ступени/выступы, карманы, зажимная или теневая геометрия, вентиляционные отверстия, болтовые отверстия, зенкованные отверстия, выравнивающие вырезы
• Особенности кромки и отделка поверхности (фаска; шлифованные или полированные поверхности)
• Условия эксплуатации: химия плазмы, мощность, температура, ожидаемая долговечность/толерантность к эрозии
• Критические допуски: плоскостность, параллельность, концентричность, радиальное биение
• Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección requeridos, nivel de embalaje

Основные характеристики

• Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
• Геометрия: Плоские кольца, ступенчатые/с выступами кольца, сегменты из нескольких частей, кольца ограничения/теневые — полностью по чертежу на заказ.
• Размеры: По чертежу (изготавливается по заказу); одинаковая толщина сечения для термической стабильности
• Функциональные особенности теневые кромки, поверхности зажимов, этапы установки вафера, отверстия для потока и вентиляции для выравнивания давления
• Кромка и поверхность Кромки, отполированные огнем; функциональные поверхности отшлифованные или отполированные; плавные радиусы для снижения образования частиц
• Выравнивание и монтаж: Выемки/шпонки, потайные отверстия, датумные ссылки, идентификатор лазерной детали/направление потока по запросу
• Чистота: Ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100

Свойства материала (типичные)

• Низкое тепловое расширение и высокая термошок-устойчивость
• Отличная химическая инертность по отношению к большинству газов процесса; обратите внимание, что HF атакует плавленый кварц
• Электрически изолирующий, низкое газовыделение; оптически чистые поверхности

Заметки по обработке и проектированию

• Поддерживайте зазор между кольцом и вафером и высоты ступеней постоянными, чтобы обеспечить равномерное распределение плазмы.
• Добавьте щедрые внутренние радиусы на переходах, чтобы снизить напряжение и ловушки частиц
• Вентилируемые контрсверленные сквозные отверстия, подвергающиеся вакууму, чтобы предотвратить виртуальные утечки
• Выберите отделку поверхности в зависимости от чистоты процесса и требований к зажиму/затенению
• Мы можем порекомендовать осуществимые допуски на плоскость, параллельность, соосность и радиальное биение в зависимости от размера/геометрии

Инспекция и испытания

• Измерение размеров (CMM/оптический): OD/ID/толщина, высоты ступеней/ширины ступеней, характеристики зазоров
• Плоскостность/параллелизм и биение относительно опорных поверхностей
• Визуальный контроль: 100% проверка на сколы, микротрещины, включения и загрязнение.
• Опционально: оценка двойного лучепреломления/напряжений; проверка отделки поверхности; отчет о чистоте

Применения

Плазменное травление ICP/RIE/DRIE, PECVD/CVD, в виде краевых, фокусировочных и теневых колец, а также компонентов ограничения. Для платформ диаметром 150–300 мм и индивидуальных подложек.

Упаковка и хранение

Антистатичная, вакуумно запакованная упаковка с жесткой защитой; кольцевые разделители, чтобы предотвратить контакт с краями. Хранить сухим (<40% RH) при 10–30 °C; держать HF-содержащие химикаты подальше.

Быстрый запрос

Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

请在浏览器中启用JavaScript来完成此表单。

Имя (копия) *

前一页

后一页

or Text Email

Электронная почта *

Однострочный текст

Комментарий или сообщение *

Отправить сообщение