Купольные и технологические крышки из плавленого кварца

  • Assortment of clear and frosted Fused Quartz components, including a large frosted ring with an integrated clear dome, and smaller clear domes and oval rings

    • Купольные и технологические крышки из плавленого кварца

    Купольные крышки и технологические крышки из плавленого кварца для высокочистых полупроводниковых инструментов, оптических узлов и камер высокой температуры. Изготовлены из высокочистого плавленого кварца с гладкими кромками без сколов, они обеспечивают выдающуюся тепловую стабильность, химическую инертность и точную подгонку, обеспечивая прозрачный обзор, надежное уплотнение и защиту в чувствительных средах.

    Запросить бесплатную консультацию

    Что предоставить для запроса цены

    • Предоставьте чертеж (PDF/STEP) или основные размеры: внешний диаметр, диаметр/ширина фланца, высота прогиба (радиус кривизны), толщина стенки.
    • Форма купола: полусферическая, мелкая/широкая или менисковая; с фланцем/кольцом или без; зона обзора прозрачная или матовая.
    • Уплотняющий интерфейс: размеры/расположение канавки под O-ring, ширина/отделка уплотняющей зоны, сопрягаемая поверхность и расположение болтов, если применимо.
    • Оптические требования (при необходимости): уровень полировки в зоне обзора, целевой показатель scratch-dig, плоскостность/кривизна/неровность поверхности.
    • Укажите условия эксплуатации, включая вакуум/допустимое давление, технологические газы/химию, максимальную температуру и термические циклы, а также требуемый уровень чистоты.
    • Критические допуски: биение/концентричность, параллельность/плоскостность фланца, однородность толщины и допуск профиля купола.
    • Количество (прототип или партия), требуемые отчёты об инспекции и уровень упаковки

    Основные характеристики

    • Материал: Плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат материала доступен по запросу. По желанию — плавленый кварц класса UV для пропускания в глубоком УФ-диапазоне.
    • Геометрия: Полусферические или неглубокие купола; купола с интегрированными фланцами/кольцами; крышки с круглым или нестандартным отверстием; монолитные или оплавленные пламенем сборки.
    • Поверхности: Оптически отполированные зоны наблюдения; шлифованные/полированные уплотнительные поверхности; опциональные матированные/травленые участки для рассеивания света.
    • Кромки: Кромки, отполированные пламенем, и увеличенные радиусы для минимизации образования частиц и сколов.
    • Чистота: Ультразвуковая/деионизированная очистка; упаковка совместима с Class-100
    • Сервисное уведомление: Обычно для вакуума или низкого положительного давления. Любая номинальная величина давления зависит от конструкции и испытаний.

    Свойства материала (типичные)

    • Очень низкое термическое расширение и хорошая стойкость к термическому шоку
    • Отличная химическая стойкость к большинству технологических сред (примечание: HF разъедает плавленый кварц)
    • Электроизоляционный материал с низкими выделениями газов; высокая оптическая прозрачность от UV до IR (зависит от марки).

    Заметки по обработке и проектированию

    • Определите, относится ли радиус купола к внутренней или внешней поверхности; сохраняйте равномерную толщину стенки для снижения напряжений.
    • Указывайте шлифовку зоны обзора и любые оптические требования (например, scratch-dig 60-40 или лучше) только там, где это необходимо для контроля затрат
    • Добавьте вентиляцию в глухие элементы (отверстия под болты/контргнёзда), находящиеся под вакуумом, чтобы предотвратить виртуальные утечки.
    • Используйте эластичные уплотнения и зажимы и допускайте тепловое расширение, чтобы избежать напряжений при тепловых циклах.
    • Мы можем рекомендовать выполнимые допуски для высоты профиля/прогиба, плоскостности/параллельности фланца, концентричности и биения в зависимости от размера.

    Инспекция и испытания

    • Измерительная проверка: OD, геометрия фланца, высота/радиус провиса, толщина, размер/положение канавки, расположение болтового круга.
    • Проверки плоскостности/параллельности на уплотнительных поверхностях; профиль купола и биение относительно датума
    • Оптическая инспекция области обзора (качество полировки, дефекты) согласно спецификации
    • 100% визуальный осмотр на наличие сколов, микротрещин, включений и загрязнений. По желанию — отчёты по чистоте и по двулучепреломлению/механическим напряжениям.

    Применения

    Инспекция и обработка крышек для etch/CVD/RTP и вакуумных камер, оптических окон и корпусов ламп, защиты от брызг/частиц и крышек высокотемпературных реакторов.

    Упаковка и хранение

    Защита кромок и защитные пленки на зонах осмотра/уплотнения; антистатичная, вакуумно-герметичная упаковка с жесткой внешней защитой. Хранить в сухом месте (<40% RH) при 10–30 °C и вдали от химикатов, содержащих HF.

    Примечания
    Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
    Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах

    Быстрый запрос

    Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

    Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

    Имя (копия)
    ru_RUРусский
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 ru_RUРусский