Позвоните нам: +86 0518-87284110
Изогнутые пластины из плавленого кварца и вкладыши труб печи
Изогнутые пластины из плавленого кварца и вкладыши-полуцилиндры, разработанные для эксплуатации в условиях высокой температуры и высокой чистоты в инструментах для полупроводников, химической обработки и промышленных печей. Изготовленные из высокочистой плавленого кварца с гладкими кромками без сколов, эти детали обеспечивают отличную термическую устойчивость, химическую инертность и точную подгонку — обеспечивая надежную защиту, чистый поток и долгий срок службы.
Что предоставить для запроса цены
- Чертеж (PDF/STEP) или ключевые размеры: внутренний/внешний радиус (или ID/OD трубы), угол дуги (например 90°/120°/180°), длина, толщина
- Геометрия: одна изогнутая пластина, полутруба, четверть цилиндра или сегментированный лайнер; перекрывающийся или торцевой шов
- Детали концов и кромок: квадратные или скругленные концы, губки/фланцы, язычки, фаска; любые пазы, отверстия или окна.
- Интерфейс и посадка: размер соединительной трубы или рамы, целевой зазор между liner и стенкой, зоны контакта и опор, метод монтажа или зажимной способ
- Условия эксплуатации: химия, максимальная температура и термические циклы, вакуум/давление (при наличии), уровень чистоты.
- Критические допуски: точность профиля/радиуса, прямолинейность, параллельность, круглость/биение вдоль дуги
- Количество (прототип или партия); запрошенные отчеты по инспекции и уровень упаковки
Основные характеристики
- Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
- Геометрия: Изогнутые пластины, вкладыши полупроходной трубы, четвертьсекции, разделённые гильзы и заказные дуговые сегменты — монолитные или пламенноплавленные сборки.
- Размеры: По чертежу (изготовление по заказу) с равномерной толщиной стенки для тепловой стабильности
- Грани и поверхности: Огнеполированные кромки; зашлифованные или отполированные функциональные поверхности. Плавные радиусы для минимизации образования частиц.
- Дополнительные функции: Рельефные/вентиляционные отверстия, выемки/ключи выравнивания, канавки под O-ring или уплотнительные поверхности, позиционирующие язычки.
- Варианты: Непрозрачный (OP) кварц доступен для дополнительной тепловой защиты; прозрачный плавленый кварц для визуального контроля
- Чистота: Ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100
Свойства материала (типичные)
- Очень низкое тепловое расширение с хорошей термостойкостью к термическим ударам
- Отличная химическая стойкость к большинству технологических сред (примечание: HF разъедает плавленый кварц)
- Электроизолирующий, с низким выделением газов; оптически чистый, когда требуется прозрачность
Заметки по обработке и проектированию
- Определить, относится ли радиус к внутренний или внешний Поверхность; поддерживать однородную толщину стенки, чтобы снизить напряжение
- Разрешить зазоры расширения и обеспечить соответствующий зажим, чтобы избежать напряжения во время термических циклов
- Добавьте щедрые радиусы на переходах и зашлифуйте все кромки, чтобы предотвратить образование сколов и ловушки частиц.
- Для сегментированных лайнеров укажите перекрытие стыков и расстояние между ними, а также любые элементы, препятствующие вращению.
- Мы можем порекомендовать осуществимые допуски на радиус/профиль, плоскостность/прямолинейность и радиальный биение в зависимости от размера и геометрии.
Инспекция и испытания
- Измерительная проверка: радиус/угол дуги/длина/толщина; допуск профиля вдоль дуги; положение отверстий и прорезей
- Плоскостность/прямолинейность опорных поверхностей; круглость/радиальное биение относительно базовой поверхности
- 100% визуальный контроль на предмет сколов, микротрещин, включений и загрязнений
- Опционально: оценка двойной преломляемости и напряжения и отчет о чистоте
Применения
Вкладыши труб печи и разделённые втулки, тепловые экраны и защитные щиты от разбрызгивания, защитные перегородки, изогнутые окна или направляющие для процессов высокой чистоты и высоких температур (диффузия/окисление/CVD, мокрые стенды и лабораторные печи)
Упаковка и хранение
Защитные упоры по краям и изогнутые разделители. Антистатичная вакуумная упаковка с жесткой внешней защитой; хранить в сухом месте (<40% относительной влажности) при 10–30 °C и держать подальше от HF-содержащих химикатов.
Примечания
Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах
Русский 
English 
Español 
Français 
Deutsch 
العربية 
Português do Brasil 
日本語 
한국어 
繁體中文