Керамические защитные пластины для плазменного травления полупроводников

  • Circular ceramic cover plate with concentric grooves and central hole for semiconductor processing equipment

    • Керамические защитные пластины для плазменного травления полупроводников

    Прецизионные керамические защитные пластины, изготовленные из высокочистой оксида алюминия (Al2O3), циркония (ZrO2) или нитрида кремния (Si3N4), разработаны для критических процессов обработки полупроводников, вакуума и плазменного травления. Эти индивидуальные пластины предлагают превосходные тепловые, электрические и механические свойства и соответствуют строгим промышленным стандартам для требовательных высокотемпературных применений.

    Запросить бесплатную консультацию

    Размеры по индивидуальному заказу

    • По чертежу (индивидуальные размеры и геометрии)

    Свойства материала

    • Базовый материал: Al₂O₃ (керамика из оксида алюминия) / Опционально: ZrO₂, Si₃N₄
    • Плотность ≥3.90 g/cm³
    • Изгибная прочность: ≥350 MPa
    • Теплопроводность: 24-30 W/(m·K)
    • Диэлектрическая прочность: ≥15 kV/mm

    Допуск и качество поверхности

    • Коцентричность: ≤0.05 мм (внешний диаметр против внутреннего)
    • Параллелизм ≤0.03 mm (верхние/нижние поверхности)
    • Шероховатость поверхности: Ra ≤0.4 μm

    Ключевые тесты производительности

    • Измерительный контроль: Согласно ISO 286-2
    • Тест скорости утечки ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (гелиевой масс-спектрометрией)
    • Устойчивость к термическим ударам: ΔT ≥300°C (5 циклов, трещин нет)

    Применения

    • Обработка полупроводников: Вакуумные камеры, компоненты плазменного травления
    • Среды с высокими температурами: ≤1600°C (Зависимо от материала)

    Упаковка и обращение

    • Упаковка для чистой комнаты Класс 100 или выше
    • Антистатический Контейнеры, защищённые от ESD

    Декларация соответствия
    Соответствует SEMI F47-0706 (керамические компоненты для полупроводникового оборудования)

    Отказ от ответственности
    Настройка доступна по запросу. Критические параметры, помеченные «□», требуют явного подтверждения.

    Быстрый запрос

    Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

    Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

    Имя (копия)
    ru_RUРусский
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 ru_RUРусский