Лотки, основания и вафер-лодки из плавленого кварца для обработки пластин

  • Long, clear fused silica tray with multiple precision-drilled holes, next to a caliper

    • Лотки, основания и вафер-лодки из плавленого кварца для обработки пластин

    Заказанные по спецификации лотки, основания и вафер-лодки из плавленого кварца, разработанные для обработки ваферов во влажных ваннах, травлении, CVD/диффузии, очистке и процессов при высоких температурах. Изготовленные из высокочистого плавленного кварца и точно обработанные по вашему чертежу, эти носители обеспечивают выдающуюся тепловую стабильность, химическую инертность, гладкие поверхности контактов и чистую работу в критических условиях.

    Запросить бесплатную консультацию

    Что предоставить для запроса цены

    • Чертёж (PDF/STEP) или ключевые размеры (Длина × Ширина × Высота, толщина стенки)
    • Размеры и емкость вафера (расположение слотов/карманов/постов, шаг, расстояние)
    • Требуемые характеристики: отверстия для дренажа, переливные пороги, ребра, ручки, ножки/стойки, крышки, идентификационные знаки.
    • Требования к кромкам и отделке поверхности (фаска/скос, шлифованные или отполированные поверхности)
    • Условия эксплуатации (химические вещества, влажная рабочая зона/термический процесс), максимальная температура и целевой уровень чистоты.
    • Критические допуски и цели по плоскостности/параллельности
    • Количество (прототип или партия), требуются отчёты об инспекции и уровень упаковки

    Основные характеристики

    • Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
    • Геометрия: Прямоугольные/овальные/круглые лотки, основания и лодки для пластин; встроенные пазы, карманы, стойки или ребра согласно чертежу.
    • Размеры: По чертежу (изготовление по заказу). Одинаковая толщина стенки и усиленные секции по мере необходимости.
    • Финиш поверхности: Огнеполированные кромки. Внутренние поверхности зашлифованы или отполированы, чтобы минимизировать образование частиц; сняты заусенцы и плавные скругления.
    • Особенности слота и стойки Индивидуальное количество слотов и шаг, глубина кармана, диаметр/высота стоек; скругленные углы для защиты ваферов
    • Дренаж и поток: Сливные отверстия, желоба или переливные заграждения, спроектированные для эффективного химического обмена и сушки.
    • Особенности обращения: Рукоятки, выемки для выравнивания и ножки/стойки для надёжного размещения. Опциональная лазерная идентификация и метки потока.
    • Конструкция: Прецизионная механическая обработка и сборки, сваренные пламенем; отпуск для снятия напряжений доступен
    • Чистота: Ультразвуковая промывка/DI; упаковка, совместимая с Class-100

    Свойства материала (типичные)

    • Высокая чистота и низкое газовыделение для использования в чистых помещениях
    • Отличная химическая стойкость ко многим кислотам/щелочам и органическим растворителям. Примечание: плавленый кварц не устойчив к HF
    • Очень низкое термическое удлинение, хорошая термошокоустойчивость и стабильность при высоких температурах.
    • Электрическая изоляция и высокое качество поверхности

    Заметки по обработке и проектированию

    • Предпочитайте однородную толщину стенки и щедрые внутренние радиусы, чтобы снизить напряжение и ловушки частиц
    • Нижние ребра или рамы могут повысить жесткость и плоскостность для крупных форматов
    • Финиш поверхности (шлифованный против полированного) выбирается в зависимости от чистоты процесса и требований к обработке.
    • Мы можем порекомендовать практические допуски на однородность пазов и шага, плоскостность и параллельность, в зависимости от размера и геометрии.

    Инспекция и испытания

    • Измерение размеров: длина/ширина/высота; шаг прорезей и штифтов и их высота. Глубина выемки; плоскостность/параллельность
    • Визуальный осмотр: 100% проверка на наличие сколов, трещин, включений и загрязнений
    • Опционально: проверка двойного преломления/напряжения. Проверка отделки поверхности и отчет о проверке чистоты.

    Применения

    Очистка и травление ваферов, обработка на влажной банке. Пакетная загрузка для CVD/диффузии/отжига, транспортировка и временное хранение ваферов, а также прецизионная химическая обработка

    Упаковка и хранение

    Антистатическая, вакуумная упаковка с амортизирующей пеной и прочной внешней защитой. Хранить в сухом месте (<40% RH) при 10–30 °C; держать вдали от химикатов, содержащих HF, во время хранения.

    Примечания
    Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
    Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах

    Быстрый запрос

    Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

    Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

    Имя (копия)
    ru_RUРусский
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 ru_RUРусский