Позвоните нам: +86 0518-87284110
плавлённый кварц форсунки & жидкостные инжекторы для полупроводников
Наши прецизионно изготовленные сопла из плавленого кварца и дозаторы жидкости спроектированы для требовательных применений в полупроводниковой промышленности, ALD/CVD и химической обработке. Эти компоненты высокого уровня чистоты обеспечивают исключительную химическую инертность, термостойкость и точную подачу жидкости, гарантируя оптимальную работу в критических условиях.
Что предоставить для запроса цены
- Чертеж (PDF/STEP) или ключевые размеры (OD / ID / длина)
- Детали отверстия: диаметр, количество, шаг, положение; форма наконечника; наличие боковых портов
- Эксплуатационная среда: вакуум / плазма / химические вещества; максимальная температура; требуемое поведение потока.
- Критические допуски и требования к шероховатости поверхности
Основные характеристики
- Материал: Высокочистый плавленый кварц (кварц, SiO₂); сертификат материала по запросу
- Геометрия: Прямая / ступенчатая / конические? / L-образная; полностью по чертежу
- Размеры: По чертежу (изготовление под заказ); одинаковая толщина стенки по проекту
- Советы и отверстия: Одно или несколько отверстий, просверленных лазером или высеченных; размеры и шаг по чертежу
- Особенности: Массивы боковых перфораций, боковые порты, фланцы/резьбы/кольца, заглушки или полусферические концы (опционально).
- Финиш поверхности: огнеполированная / шлифованная / отполированная (OD/ID) по мере необходимости; заусенцы на кромках удалены
- Прямолинейность и концентричность: По чертежу; зависит от геометрии (мы можем подсказать допустимые допуски)
- Чистота: Ультразвуочная очистка; упаковка совместима с классом чистоты 100; защитные колпачки для наконечников
- Маркировка: Идентификатор лазерной детали или направление потока по запросу
Свойства материала (типичные)
- Высокая оптическая пропускная способность и очень низкое тепловое расширение
- Отличная химическая инертность по отношению к кислотам, щелочам и органическим растворителям (кроме HF)
- Стойкий к высоким температурам и термическим циклам
- Электрическая изоляция и низкое газовыделение для чистых процессов
Применения
Поставка прекурсоров ALD/CVD, плазменные инструменты, микро-реакторы, аналитическое оборудование. Прецизионная дозировка химических веществ в условиях вакуума или при высоких температурах.
Заметки по обработке и проектированию
- Отверстия, полученные лазерной обработкой/гравировкой; кромки без заусенцев и стружки
- Отпуск при снятии напряжений и кислотная очистка доступны
- Радиусы скругления на резких переходах рекомендуются для снижения концентрации напряжений
- Коаксиальность/прямолинейность контролируются по чертежу; практические советы по допускам доступны
Инспекция и испытания
- Измерение размеров: внешний диаметр/внутренний диаметр/длина; размер отверстия и шаг
- Дополнительные тесты: тест на утечку гелия (для вакуумных узлов), проверка расхода, проверка двойного преломления и напряжения.
- 100% визуальная инспекция обломков, трещин и контаминации
Упаковка и хранение
- Антистатическая вакуумная упаковка с амортизирующей пеной и защитой наконечника. Хранить в сухой среде (<40% RH) при 10–30 °C.
Примечания
Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах
Русский 
English 
Español 
Français 
Deutsch 
العربية 
Português do Brasil 
日本語 
한국어 
繁體中文