Custom Fused Quartz Vacuum Chucks for Semiconductor

Close-up of a clear Fused Quartz plate with complex internal fluidic channels and two circular ports, held by a gloved hand

Clear Fused Quartz rectangular frame or support component with a large central cutout and multiple perimeter holes.

Top-down view of a clear, square Fused Quartz plate with an intricate concentric circular and radial etched pattern, resembling a fan guard

Clear, rectangular Fused Quartz plate with a precise grid of small square openings and circular standoffs, held by a gloved hand.

Fused Quartz Vacuum Chucks & Handling Plates

Our precision custom Fused Quartz vacuum chucks, plates, and handling fixtures are engineered for demanding applications in semiconductor wafer processing, etching, and other high-tech industries. Crafted from high-purity Fused Quartz, these components ensure contamination-free, scratch-free handling, offering exceptional thermal stability and chemical inertness for reliable performance in vacuum and high-temperature environments

Запросить бесплатную консультацию

Basic Dimensions

Outer Diameter (OD): 300.0 mm ±0.1
Inner Diameter (ID): 210.0 mm ±0.1
Height (H): 6.35 mm ±0.05

Свойства материала

Базовый материал: Al₂O₃ (керамика из оксида алюминия) / Опционально: ZrO₂, Si₃N₄
Плотность ≥3.90 g/cm³
Изгибная прочность: ≥350 MPa
Теплопроводность: 24-30 W/(m·K)
Диэлектрическая прочность: ≥15 kV/mm

Допуск и качество поверхности

Коцентричность: ≤0.05 мм (внешний диаметр против внутреннего)
Параллелизм ≤0.03 mm (верхние/нижние поверхности)
Шероховатость поверхности: Ra ≤0.4 μm

Ключевые тесты производительности

Измерительный контроль: Согласно ISO 286-2
Тест скорости утечки ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (гелиевой масс-спектрометрией)
Устойчивость к термическим ударам: ΔT ≥300°C (5 циклов, трещин нет)

Применения

Обработка полупроводников: Вакуумные камеры, компоненты плазменного травления
Среды с высокими температурами: ≤1600°C (Зависимо от материала)

Упаковка и обращение

Упаковка для чистой комнаты Класс 100 или выше
Антистатический Контейнеры, защищённые от ESD

Декларация соответствия
Соответствует SEMI F47-0706 (керамические компоненты для полупроводникового оборудования)

Отказ от ответственности
Настройка доступна по запросу. Критические параметры, помеченные «□», требуют явного подтверждения.

Быстрый запрос

Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.