Позвоните нам: +86 0518-87284110
плавленый кварц проставки для ваферов и стержни для укладки
Проставки под вафли из плавленого кварца и направляющие для укладки, предназначенные для разделения вафлей, сушки и пакетной обработки в влажных рабочих станциях, диффузионных печах и процессах при высокой температуре. Из высокочистого плавленого кварца изготовлены и рассчитаны на низкую генерацию частиц; эти элементы поддерживают равномерное расстояние между вафлями, предотвращают царапины и обеспечивают чистое и термически стабильное функционирование в критических условиях.
Что предоставить для запроса цены
- Чертеж (PDF/STEP) или ключевые размеры: диаметр стержня или ширина × длина; шаг канавки/насечки, ширина и глубина; ширина контактной площадки
- Размер пластин и целевой зазор (количество пластин на стержень, общая высота укладки)
- Концевые особенности: шип/упор меньшего диаметра, плоские поверхности против опрокидывания, поперечные отверстия, резьба или монтажные пазы
- Финиш поверхности контактных участков (полированная против шлифованной), радиусы кромок и фаски для защиты краёв ваферов
- Эксплуатационная среда: химикаты (химии мокрой лаборатории на рабочем столе). Вакуумно-термический профиль и уровень чистоты.
- Критические допуски: равномерность шага канавок, прямолинейность/концентричность, допустимый прогиб под нагрузкой.
- Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección requeridos, nivel de embalaje
Основные характеристики
- Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
- Геометрия: Круглые стержни или плоские прутки с обработанными канавками/насечками; опорные стойки (по желанию), упоры или поверхности выравнивания; сборки из одной детали или пламенем-плавленными
- Размеры: По чертежу (изготавливается под заказ) с равномерной толщиной секции для термической устойчивости
- Контактные поверхности: Полированные поверхности и радиусные кромки для минимизации микро-сколов и царапин
- Опции конца и монтажа: Шипы/плечи для рам, концы с резьбой или сквозными отверстиями, плоскости против вращения, идентификация лазерной детали по запросу.
- Чистота: Ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100
Свойства материала (типичные)
- Очень низкое термическое расширение и хорошая стойкость к термическому шоку
- Отличная химическая стойкость к большинству технологических сред (примечание: HF разъедает плавленый кварц)
- Электрически изолирующий, низкое газовыделение; оптически чистые поверхности
Заметки по обработке и проектированию
- Подгоните радиус канавки и ширину посадочной зоны к геометрии кромки вафера. Избегайте резких переходов.
- Сохраняйте одинаковый шаг канавок, чтобы обеспечить постоянное расстояние между ними и равномерный поток воздуха/промыва; при необходимости добавляйте дренажные выемки.
- Укажите допустимый прогиб при полной нагрузке. Используйте более крупное сечение или ребра, если жесткость критична.
- Провентилируйте все слепые отверстия, используемые в вакуумных инструментах, чтобы предотвратить виртуальные утечки
- Отжиг для снятия напряжений и шлифовка кромок рекомендуются для долговечности при термических циклах
Инспекция и испытания
- Размерная проверка: диаметр/длина стержня, шаг/ширина/глубина канавки, размеры и положения концевых элементов.
- Проверки прямолинейности/центровки и дефлексии при рабочей нагрузке
- 100% визуальный контроль на предмет сколов, микротрещин, включений и загрязнений
- Опционально: сертификация чистоты, оценка двойного преломления/напряжения
Применения
Укладка и разделение пластин в мокрых ваннах, печи диффузии/окисления/обжига, устройства для сушки и транспортировки, временные стеллажи для хранения и прецизионная обработка на линиях высокой чистоты
Упаковка и хранение
Защитные поверхности контактов и разделители; антистатичная вакуумная упаковка с прочной внешней защитой. Хранить в сухом виде (<40% относительной влажности) при 10–30 °C и вдали от химикатов, содержащих HF.
Примечания
Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах
Русский 
English 
Español 
Français 
Deutsch 
العربية 
Português do Brasil 
日本語 
한국어 
繁體中文