Камеры распыления и реакционные камеры из плавленого кварца

  • Clear Fused Quartz spray chamber with an integrated angled inlet arm and internal structure

    • Камеры распыления и реакционные камеры из плавленого кварца

    Камеры распыления и реакционные камеры из плавленого кварца, предназначенные для процессов в области высокочистых полупроводников, химии и лабораторной работы. Из ультрачистого плавленого кварца и собранные с помощью точной пламенной сварки, эти изделия обеспечивают исключительную химическую инертность, термостабильность и чистый, точный контроль подачи газов и жидкостей, смешивания и времени пребывания в критических условиях.

    Запросить бесплатную консультацию

    Что предоставить для запроса цены

    • Чертёж (PDF/STEP) или ключевые размеры: диаметр/высота сосуда, толщина стенки, форма крышки куполообразной/плоской
    • Порты и соединения: количество, расположение и размеры; тип соединения (конусное/шарнирное соединение), шланговый штуцер или фланец KF/ISO/CF
    • Внутренние особенности: тип форсунки распыления, погружная трубка или диффузор, перегородки/миксеры, распределители потока, геометрия дренажа/кессона
    • Условия процесса: химикаты/газы, целевые скорости потока, вакуум/допустимое давление, максимальная температура, уровень чистоты
    • Измерительное оборудование/окна: термовелл, смотровое окно/видовое окно, порт отбора проб; требования к канавке под уплотнительное кольцо или уплотнительная поверхность
    • Критические допуски: плоскостность и параллельность уплотняющих поверхностей, концентричность и радиальное биение шеек и портов
    • Количество (прототип или партия), требуются отчёты об инспекции и уровень упаковки

    Основные характеристики

    • Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
    • Конфигурации: Цилиндрические или сферические камеры; крышки с одним или несколькими портами; встроенные манифольды или ризеры; варианты дренажа или sump.
    • Подключения: Соединения из шлифованного стекла, шарово-суставное соединение, штуцеры для шлангов, фланцы KF/ISO/CF или адаптеры на заказ
    • Внутреннее оборудование: Распылительные форсунки/инжекторы, погружные трубки, диффузоры/спаргеры, перегородки, выравниватели потока—согласно чертежу
    • Конструкция: Прецизионная обработка с переходами, расплавленными во пламени; доступна термообработка для снятия напряжений.
    • Поверхности и чистота: Гладкие, безосколочные увлажнённые поверхности; ультразвуковая/DI очистка; упаковка, совместимая с Class-100
    • Сервисное уведомление: Предназначен для работы в вакууме или при низком давлении. Любая номинальная величина давления зависит от конструкции и испытаний.

    Свойства материала (типичные)

    • Исключительная химическая стойкость и низкие экстрагируемые вещества (примечание: HF атакует плавленый кварц)
    • Очень низкое тепловое расширение с хорошей термостойкостью к термическим ударам
    • Электрически изолирующий, оптически прозрачный и с низким выделением газов — идеально для условий высокой чистоты.

    Заметки по обработке и проектированию

    • Используйте щедрые радиусы на стыках, чтобы снизить напряжение и ловушки частиц. Отполируйте увлажненные поверхности, чтобы минимизировать отсев частиц
    • Определите рисунок распыления/угол распыления, целевой размер капли и цели по времени пребывания при выборе форсунок и перегородок
    • Добавьте вентиляцию в слепые полости и резьбовые элементы, чтобы предотвратить виртуальные утечки в вакуумной эксплуатации
    • Обеспечьте уклон дренажа и геометрию дренажной камеры, чтобы избежать застой жидкости; при необходимости рассмотрите антирефлюксные функции
    • Выберите стандарты соединения, соответствующие вашей сантехнической разводке на выходе и практике обслуживания.
    • Мы можем рекомендовать практические допуски на плоскостность уплотнительной поверхности, концентричность порта и выравнивание, основанные на размере и геометрии.

    Инспекция и испытания

    • Измерение по размерам: размер сосуда, расположение портов, концентричность горла, геометрия уплотнительной поверхности.
    • Дополнительные испытания: тест на утечку гелия (вакуумные сборки), испытание пропускной способности/удержания или испытание на спад давления в соответствии с проектом
    • Визуальный контроль: 100% проверка на сколы, микротрещины, включения и загрязнение.
    • Опциональная оценка двойного преломления и напряжения и сертификация чистоты

    Применения

    Распыление и смешивание прекурсоров для ALD/CVD, распыление химических растворов, травление и промывка, контакт пар/жидкость, микро-реакторы, очистка газов и аналитические/лабораторные системы, требующие высокой чистоты и визуального доступа

    Упаковка и хранение

    Защитные крышки на разъемах; антистатичная, вакуумная упаковка с ударопоглощающей пеной и прочной внешней защитой. Хранить в сухом виде (<40% относительной влажности) при 10–30 °C и вдали от химических веществ, содержащих HF.

    Примечания
    Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
    Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах

    Быстрый запрос

    Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

    Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

    Имя (копия)
    ru_RUРусский
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 ru_RUРусский