Позвоните нам: +86 0518-87284110
Кольцевые крышки из плавленого кварца и защитные пластины
Кольцевые крышки из плавленого кварца и защитные пластины для оборудования полупроводников, вакуумных систем и оптических сборок. Изготовлены из высокочистого плавленого кварца и обработаны по вашему чертежу, эти прозрачные компоненты обеспечивают отличную оптическую чистоту, термическую стабильность, химическую инертность и точную посадку, обеспечивая надёжное уплотнение, защита от брызг и визуальный доступ в чувствительных условиях.
Что предоставить для запроса цены
- Чертёж (PDF/STEP) или ключевые размеры: наружный Ø, внутренний Ø/отверстие, толщина
- Установка болтов по окружности Ø (BCD), отверстие Ø/количество, паз или стиль зазора, детали конусного/цилиндрического зенкования
- Особенности уплотнения: размер/положение канавки под уплотнительное кольцо, ширина и отделка уплотнительной поверхности, интерфейс прокладки
- Функциональные опции: зона смотрового окна, приподнятые/ступенчатые кромки, выравнивающие выемки/штифты, вентиляционные отверстия для предотвращения виртуальных утечек
- Условия эксплуатации: уровень вакуума/давления, химикаты, температура, цель чистоты
- Критические допуски: плоскостность, параллельность, концентричность/радиальное биение; качество поверхности в уплотнительных и оптических областях
- Количество (прототип или партия), требуются отчёты по осмотру, уровень упаковки
Основные характеристики
- Материал: Плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат материала по запросу
- Геометрия: Круглые или многоугольные крышки колец, пончики, цельные пластины с центральным отверстием; сборки из одного элемента или из нескольких элементов по чертежу
- Размеры: По чертежу (изготавливается по заказу); одинаковая толщина сечения для термической стабильности
- Грани и поверхности: кромки, отполированные пламенем; отшлифованные и отполированные уплотнительные поверхности и поверхности обзора, чтобы минимизировать частицы и повысить целостность уплотнения
- Монтаж и выравнивание: Точные схемы размещения болтов, конические зенковки и цилиндрические зенковки, детали для штифтов/локаторов; опциональная лазерная идентификация детали/ориентационная пометка
- Чистота: Ультразвуковая очистка/DI и упаковка, совместимая с классом 100
Свойства материала (типичные)
- Отличная химическая стойкость к большинству технологических сред (примечание: HF разъедает плавленый кварц)
- Очень низкое термическое расширение и хорошая стойкость к термическому шоку
- Электрически изолирующий, низкое газовыделение; высокая оптическая прозрачность для наблюдения и выравнивания。
Заметки по обработке и проектированию
- Ширина и отделка уплотнительной поверхности и геометрия канавки под уплотнение
- Добавьте вентиляцию в слепые отверстия, подверженные вакууму, чтобы предотвратить виртуальные утечки
- Используйте щедрые внутренние радиусы и кромки без заусенцев, чтобы снизить напряжение и образование частиц
- Мы можем порекомендовать осуществимые допуски на плоскость, параллельность, соосность и радиальное биение в зависимости от размера/геометрии
Инспекция и испытания
- Проверка размеров: внешний диаметр/внутренний диаметр/толщина, болтовой круг, Ø отверстия/позиция, размер/позиция канавки
- Плоскостность и параллельность уплотнительных и оптических поверхностей
- 100% визуальный контроль на предмет сколов, микротрещин, включений и загрязнений
- 我們可以根據尺寸/幾何基礎,提供可實現的平整度、平行度、同心度與跳動公差建議
Применения
Крышки камер и видовые окна, кольцевидные защитные пластины, экраны от брызг для влажных столов, интерфейсы вакуумной двери, оптические и выравнивающие пластины в подсистемах метрологии или литографии
Упаковка и хранение
Защитные уголки и защитные пленки на оптических/уплотнительных поверхностях; антистатическая, вакуумно запакованная упаковка с прочной внешней защитой. Храните в сухом месте (<40 % относительной влажности) при 10–30 °C; держитесь подальше от химикатов, содержащих HF.
Примечания
Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах