Позвоните нам: +86 0518-87284110
Плавленый кварц Реакторы, теплообменники и баблеры
Индивидуально изготовленные реакторы из расплавленного кварца, теплообменники и баблеры, разработанные для инструментов полупроводников, химической обработки и лабораторного применения. Из ультрачистого расплавленного диоксида кремния и собранные прецизионной пламенной сваркой, эти сложные компоненты обеспечивают выдающуюся химическую стойкость, термостойкость и чистую, точную работу с жидкостями/паром в условиях вакуума и при высоких температурах.
Что предоставить для запроса цены
- Чертёж (PDF/STEP) или ключевые размеры и компоновка (наружный диаметр/внутренний диаметр трубы, длины, геометрия катушки или связки, размер сосуда)
- Условия процесса: газы/химикаты, максимальная температура, уровень вакуума/предельное давление, целевые расходные потоки и тепловая нагрузка
- Типы соединений: стеклянные соединения с шлифованными торцами, шарикогнездовые соединения, KF/ISO/CF-фланцы или адаптеры на заказ
- Внутренние особенности: длина погружной трубки, распылитель с множеством отверстий, перегородки, катушки/оболочка, термовелл/смотровые отверстия.
- Критические допуски: концентричность, прямолинейность, параллельность, спецификация скорости утечки
- Количество (прототип или партия). Необходимы отчеты об инспекции; уровень упаковки/чистоты.
Основные характеристики
- Материал: плавленый кварц высокой чистоты (SiO₂); сертификат на материал по запросу
- Конфигурации:
Реакторы: Прямые или кожуховые сосуды, многопортовые коллекторы, встроенные катушки или перегородки.
Теплообменники катушки, змеевидные или стиль «труба в трубе»; многотрубные пучки; коллекторы впуска/выхода
Бублеры: Однопортовые или двухпортовые конструкции с внутренней погружной трубкой/распылителем; выпуск пара над уровнем жидкости - Подключения: Стандартные конические соединения, шарово-гнездовые соединения, фланцы KF/ISO/CF, шланговые штуцеры с ребрами или индивидуальные окончания.
- Сборка: Прецизионные соединения и переходы, сваренные пламенем; отпуск с снятием напряжений доступен
- Поверхность и чистота: Гладкие, безсколовые кромки; ультразвуковая очистка/DI; упаковка совместима с классом 100
- Пределы проектирования По чертежу; предназначено для вакуумного или низкого давления — диапазоны давления определяются проектом и планом испытаний.
Свойства материала (типичные)
- Исключительная химическая инертность (примечание: HF атакует плавленый кварц)
- Высокая термическая устойчивость с очень низким тепловым расширением
- Электрически изолирующий, с низким газовыделением; оптически чистые поверхности, пригодные для эксплуатации в условиях высокой чистоты.
Заметки по обработке и проектированию
- Используйте щедрые радиусы на соединениях, чтобы снизить напряжение и ловушки частиц
- Добавьте вентиляционные отверстия, чтобы избежать виртуальных утечек в вакуумных магистралях; укажите желаемый целевой уровень утечки.
- Шаг катушки, расстояние между трубками и толщина стенки должны отражать требуемый теплообмен и падение давления
- Для барботеров определите уровень жидкости, глубину погружения дип-трубки и желаемый размер пузырьков (тип распылителя).
- Выберите стандарты уплотнений и фланцев, соответствующие оборудованию на выходе и практике обслуживания
Инспекция и испытания
- Проверка размеров (наружный диаметр/внутренний диаметр трубки, длины, геометрия катушки, позиции портов)
- Испытание на утечки гелия по запросу (вакуумное обслуживание); по проекту — опциональное испытание потока и удержания давления
- Проверка двойного преломления и напряжений. Визуальная инспекция на предмет сколов, трещин, включений и загрязнений.
- Проверка чистоты и сертификаты на упаковку доступны
Применения
Доставка прекурсоров ALD/CVD (бабблеры), генерация пара и очистка газов, теплообмен в коррозионно-стойких или высокочистых линиях, микро-реакторы, лабораторная и пилотная обработка
Упаковка и хранение
Антистатичная вакуумная упаковка с ударопоглощающей пеной и жесткой защитой для хрупких деталей. Хранить сухими (<40% RH) при 10–30 °C и избегайте контакта с химическими веществами, содержащими HF.
Примечания
Индивидуальные конфигурации (рисунки отверстий, покрытия или дополнительные маркировки) доступны по запросу.
Сертификаты соответствия (RoHS, ISO 9001) при оптовых заказах