Плавленые кварцевые вафер-лодки

  • Clear fused quartz wafer boat with multiple slots for semiconductor wafers.
  • Long, clear fused quartz rods with spiral grooves, likely components of a wafer boat.
  • Compact clear fused quartz boat or carrier design, angled view.
  • Opaque fused quartz wafer carrier frame with straight support rods.
  • Multiple individual clear fused quartz wafer support stands or components.

    • Плавленые кварцевые вафер-лодки

    The Quartz Cleaning Boat — это носитель высокой чистоты и устойчивости к коррозии, предназначенный для отраслей полупроводников, фотоэлектрики и прецизионной электроники. Он используется для удержания ваферов или компонентов во время влажной/сухой очистки, кислотного травления или процессов при высокой температуре.

    Запросить бесплатную консультацию

    Обзор продукта

    Наши сосуды и носители из плавленого кварца высокой чистоты и стойкие к коррозии разработаны специально для отраслей полупроводников, фотовольтаики и прецизионной электроники. Идеальны для очистки пластин (RCA, SC1/SC2), кислотного травления, термообработки/диффузии при высоких температурах и процессов CVD/PVD; эти компоненты обеспечивают ультрачистые, не загрязняющие поверхности и отличную термическую стабильность, соответствуя стандартам SEMI F20/F47.

    Технические характеристики

    • Параметр: Детали
    • Материал: плавленый кварц (SiO₂ ≥99.99%)
    • Размеры: Настраиваемый (Стандарт: Длина 200–500 mm, Ширина 50–150 mm, Высота 20–50 mm)
    • Макс. температура: 1,200°C (постоянное использование) / 1,450°C (кратковременное использование)
    • Отделка поверхности: кислотно-полированная, Ra ≤0.8 μm
    • Чистота: Низкие металлические примеси (Na, K, Fe и т. д. <1 ppm)
    • Тепловая устойчивость: Коэффициент линейного теплового расширения (CTE): 0.55 ×10⁻⁶/°C (20–1,000°C)

    Ключевые характеристики

    • Высокая химическая стойкость: Устойчив к HF, HCl, HNO₃ и другим агрессивным химическим веществам
    • Низкое тепловое расширение: Минимизирует деформацию при резких изменениях температуры
    • Без загрязнений: Поверхность ультрачистая предотвращает прилипание частиц
    • Индивидуальный дизайн: Зазор между слотами, глубина и геометрия кюветы адаптированы к требованиям клиента

    Применения

    • Очистка пластин во влажных банках (RCA, SC1/SC2)
    • Процессы кислотной ванны (например, травление BOE)
    • Высокотемпературные этапы отжига/диффузии
    • Работа с компонентами камеры CVD/PVD

    Обеспечение качества

    • Соответствие: Соответствует нормам SEMI F20/F47
    • Тестирование:
      ICP-MS для анализа примесей
      Измерение шероховатости поверхности с помощью AFM
      Испытание термического удара (1,000°C ⇄ 25°C, 10 циклов)

    Упаковка и хранение

    • Индивидуальная упаковка в антистатических, ESD-защищённых контейнерах
    • Храните в сухой и без пыли среде (10–30°C)

    Меры предосторожности

    • Избегайте механических воздействий или резких изменений температуры (>10°C/min)
    • Очистите перед первым использованием деионизированной водой или этанолом

    Быстрый запрос

    Если вы хотите узнать больше плавленый кварц Ищете решения из плавленого кварца? Свяжитесь с нами для профессиональных услуг

    Доступны 24/7 по электронной почте или телефону, чтобы помочь вам с покупкой наших изделий из кварцевого стекла, с решениями, с проблемами эксплуатации или предоставить техническую поддержку.

    Имя (копия)
    ru_RUРусский
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch arالعربية pt_BRPortuguês do Brasil ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 ru_RUРусский