Componentes de safira para exigências industriais extremas

  • Three translucent sapphire glass steps or support rings with central holes and flared bases.
  • Assortment of clear sapphire components, including circular base parts with central posts and smaller conical pieces.
  • Three clear, rectangular sapphire glass components with raised, open box-like structures.

    • Componentes de safira para exigências industriais extremas

    Placas cerâmicas de cobertura de precisão, fabricadas a partir de alumina de alta pureza (Al2O3), zircônia (ZrO2) ou nitreto de silício (Si3N4), são desenvolvidas para processos críticos de fabricação de semicondutores, vácuo e gravação por plasma. Essas placas personalizadas oferecem propriedades térmicas, elétricas e mecânicas superiores, atendendo a padrões industriais rigorosos para aplicações de alta temperatura exigentes.

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    Basic Dimensions

    • Outer Diameter (OD): 300.0 mm ±0.1
    • Inner Diameter (ID): 210.0 mm ±0.1
    • Height (H): 6.35 mm ±0.05

    Propriedades do material

    • Material de base: Al₂O₃ (cerâmica de alumínio) / Opcional: ZrO₂, Si₃N₄
    • Densidade ≥3.90 g/cm³
    • Resistência à flexão: ≥350 MPa
    • Condutividade térmica: 24-30 W/(m·K)
    • Tensão dielétrica: ≥15 kV/mm

    Tolerância e qualidade da superfície

    • Concentricidade: ≤0.05 mm (DE e DI)
    • Paralelismo ≤0.03 mm (superfícies superiores e inferiores)
    • Rugosidade da superfície: Ra ≤0.4 μm

    Testes de desempenho-chave

    • Inspeção dimensional: De acordo com a ISO 286-2
    • Teste da taxa de fuga ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Espectrometria de massas de hélio)
    • Resistência ao choque térmico: ΔT ≥300°C (5 ciclos, sem fissuras)

    Aplicações

    • Processamento de semicondutores: Câmaras de vácuo, componentes de gravação por plasma
    • Ambientes de alta temperatura: ≤1600°C (Dependente do material)

    Embalagem e manuseio

    • Embalagem para sala limpa Classe 100 ou superior
    • Antiestático contenedores à prova de ESD

    Declaração de conformidade
    Conforme SEMI F47-0706 (Componentes cerâmicos para equipamentos de semicondutores)

    Aviso de isenção de responsabilidade
    Personalização disponível mediante solicitação. Os parâmetros críticos marcados com “□” requerem confirmação explícita.

    Consulta rápida

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