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quartzo fundido, bicos & injetores de fluido para semicondutores
Bicos e injetores de fluido de quartzo fundido, fabricados com precisão, são projetados para aplicações exigentes em semicondutores, ALD/CVD e processamento químico. Esses componentes de alta pureza oferecem inércia química excepcional, estabilidade térmica e entrega precisa de fluido, garantindo desempenho ideal em ambientes críticos.
O que fornecer para um orçamento
- Desenho (PDF/STEP) ou dimensões-chave (OD / ID / Comprimento)
- Detalhes do orifício: diâmetro, quantidade, espaçamento, posição; estilo de ponta; portos laterais
- Ambiente operacional: vácuo / plasma / químicos; temperatura máxima; comportamento do fluxo alvo.
- Tolerâncias críticas e requisitos de acabamento de superfície
Especificações principais
- Material: Quartzo fundido de alta pureza (quartzo, SiO₂); certificado de material disponível mediante solicitação
- Geometria: Reto / escalonado / cônico / em L; totalmente personalizado de acordo com o desenho
- Dimensões: Conforme o desenho (sob encomenda); espessura de parede uniforme de acordo com o projeto
- Dicas e orifícios: Um único ou vários orifícios, perfurados a laser ou gravados; tamanho e espaçamento conforme o desenho
- Características: Conjuntos de perfuração lateral, portas laterais, flanges/filetes/collares, tampas finais ou extremidades hemisféricas (opcional).
- Acabamento da superfície: Polido a fogo / usinado / polido (OD/ID) conforme necessário; bordas sem rebarba
- Retidão e concentricidade: Conforme o desenho; dependente da geometria (podemos aconselhar tolerâncias viáveis)
- Limpeza: Limpeza ultrassônica; embalagem compatível com Classe 100; protetores de ponta
- Marcação: ID de peça de laser ou direção de fluxo mediante solicitação
Propriedades do material (típicas)
- Alta transmitância óptica e expansão térmica muito baixa
- Excelente inércia química frente a ácidos, bases e solventes orgânicos (exceto HF)
- Estável em altas temperaturas e ciclos térmicos
- Isolamento elétrico e baixa desgasificação para processos limpos
Aplicações
Fornecimento de precursores ALD/CVD, ferramentas de plasma, micro-reatores, instrumentação analítica. Dosagem precisa de produtos químicos em vácuo ou em ambientes de alta temperatura.
Notas de processamento e projeto
- Orifícios produzidos por perfuração/gravação a laser; bordas livres de rebarbas e lascas
- Recocimento de alívio de tensões e limpeza ácida disponíveis
- Arredondamentos em transições acentuadas são recomendados para reduzir a concentração de tensões
- Concentricidade/alinhamento reto controlados conforme o desenho; dicas práticas sobre tolerâncias disponíveis
Inspeção e Testes
- Inspeção dimensional: diâmetro externo/diâmetro interno/comprimento; tamanho do orifício e espaçamento
- Testes opcionais: teste de vazamento de hélio (para conjuntos de vácuo), verificação de vazão, verificação de birrefringência e tensões.
- Inspeção visual 100% de lascas, fissuras e contaminação
Embalagem e armazenamento
- Embalagem antistática selada a vácuo, com espuma amortecedora e proteção da ponta. Armazene em ambiente seco (<40% RH) a 10–30 °C.
Observações
Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado