quartzo fundido Espaçadores de wafers e hastes de empilhamento

  • Multiple clear Fused Quartz cylindrical shafts with precise spiral grooves, designed for wafer stacking.

    • quartzo fundido Espaçadores de wafers e hastes de empilhamento

    Espaçadores de wafers de quartzo fundido e hastes de empilhamento projetados para a separação de wafers, secagem e manuseio em lote em bancadas úmidas, fornos de difusão e processos de alta temperatura. Feitos de sílica fundida de alta pureza e com acabamento para baixa geração de partículas, esses componentes mantêm os wafers bem espaçados, evitam arranhões e proporcionam desempenho limpo e termicamente estável em ambientes críticos.

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    O que fornecer para um orçamento

    • Desenho (PDF/STEP) ou dimensões-chave: diâmetro do bastão/barra ou largura × comprimento; passo de ranhura/serração, largura e profundidade; largura da área de contato
    • Tamanho do wafer e espaçamento-alvo (número de wafers por haste, altura total da pilha)
    • Características finais: tenão/ombro de diâmetro reduzido, superfícies planas e anti-rolamento, furos transversais, roscas ou ranhuras de montagem
    • Acabamento de superfície nas áreas de contato (polido contra lixado), raios de borda e chanfros para proteger as bordas dos wafers
    • Ambiente operacional: químicos (químicas de bancada úmida). Perfil de vácuo/temperatura e nível de limpeza.
    • Tolerâncias críticas: uniformidade do paso das ranhuras, linearidade/concentricidade, deflexão admissível sob carga.
    • Quantidade (protótipo ou lote), relatórios de inspeção necessários, nível de embalagem

    Especificações principais

    • Material: quartzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado do material disponível mediante solicitação
    • Geometria: Hastes arredondadas ou barras planas com ranhuras/dentadas usinadas; espaçadores opcionais, paradas ou superfícies de alinhamento; conjuntos de uma peça única ou fundidos pela chama
    • Dimensões: Conforme o desenho (feito sob encomenda) com espessura uniforme da seção para estabilidade térmica
    • Superfícies de contato: Superfícies polidas e cantos com raio para minimizar micro lascas e arranhões
    • Extremidade e opções de montagem: Tenões/ombros para quadros, extremidades com rosca ou passantes por furos, planos anti-rotação, identificação da peça por laser mediante solicitação.
    • Limpeza: Limpeza ultrassônica/DI; embalagem compatível com Class-100

    Propriedades do material (típicas)

    • Expansão térmica muito baixa e boa resistência a choques térmicos
    • Excelente resistência química à maioria dos meios de processo (nota: HF ataca o quartzo fundido)
    • Isolante elétrico, com baixo desgasificação; superfícies ópticas limpas

    Notas de processamento e projeto

    • Ajuste o raio da ranhura e a largura da área de contato à geometria da borda do wafer. Evite transições abruptas.
    • Mantenha o passo das ranhuras uniforme para garantir um espaçamento e um fluxo de ar e de enxágue constantes; adicione relevos de drenagem quando necessário.
    • Especifique a deflexão admissível sob carga total. Use seção maior ou nervuras se a rigidez for crítica.
    • Ventile todos os furos cegos usados em ferramentas submetidas a vácuo para evitar vazamentos virtuais
    • Recozimento de alívio de tensões e polimento das bordas recomendados para uma vida útil mais longa durante ciclos térmicos

    Inspeção e Testes

    • Verificação dimensional: diâmetro/comprimento da haste, passo/largura/profundidade da ranhura, tamanhos e posições das características de extremidade.
    • Verificações de retidão/concentricidade e deflexão sob carga representativa
    • Inspeção visual 100% de lascas, microfissuras, inclusões e contaminação
    • Opcional: certificação de limpeza, avaliação de birrefringência/estresse

    Aplicações

    Empilhamento e separação de plaquetas em bancadas úmidas, fornos de difusão/oxidação/cozimento, dispositivos de secagem e transporte, racks de armazenamento temporários e manuseio de precisão em linhas de alta pureza

    Embalagem e armazenamento

    Protetores da superfície de contato e separadores; embalagem antiestática, a vácuo, com proteção externa rígida. Armazene em ambiente seco (<40% de umidade relativa) a 10–30 °C e mantenha distância de químicos que contenham HF.

    Observações
    Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
    Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado

    Consulta rápida

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