Câmaras de pulverização e de reação de quartzo fundido

  • Clear Fused Quartz spray chamber with an integrated angled inlet arm and internal structure

    • Câmaras de pulverização e de reação de quartzo fundido

    Câmaras de pulverização e de reação de quartzo fundido projetadas para processos de semicondutores, químicos e laboratoriais de alta pureza. Construídas a partir de sílica fundida ultra-pura e montadas por fusão de chama de precisão, estes recipientes proporcionam excelente inertía química, estabilidade térmica e controle limpo e preciso do fornecimento de gás e líquido, da mistura e do tempo de residência em ambientes críticos.

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    O que fornecer para um orçamento

    • Desenho (PDF/STEP) ou dimensões-chave: diâmetro/altura do recipiente, espessura da parede, formato da tampa abaulada/plana
    • Portas e conexões: quantidade, locais e tamanhos; tipo de junta (cônico/junta esférica), conector de mangueira com filete, ou flange KF/ISO/CF
    • Características internas: tipo de bocal de pulverização, tubo de imersão ou difusor, defletores/misturadores, distribuidores de fluxo, geometria de drenagem/poço
    • Condições do processo: químicos/gases, taxas de fluxo-alvo, vácuo/pressão admissível, temperatura máxima, nível de limpeza
    • Instrumentação/janelas: thermowell, visor/viewport, porta de amostra; requisitos de ranhura para o-ring ou superfície de vedação
    • Tolerâncias críticas: planicidade e paralelismo das faces de vedação; concentricidade e deflexão radial dos pescoços e portas
    • Quantidade (protótipo ou lote), relatórios de inspeção necessários e nível de embalagem

    Especificações principais

    • Material: quartzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado do material disponível mediante solicitação
    • Configurações: Câmaras cilíndricas ou de domo esférico; tampas simples ou com portas múltiplas; coletores integrados ou risers; opções de drenagem ou sump.
    • Conexões: Juntas de vidro polido, união esfera-copa, conectores de mangueira, flanges KF/ISO/CF ou adaptadores personalizados
    • Hardware interno: Bicos de pulverização/injetores, tubos de imersão, difusores/spargers, defletores, endireadores de fluxo—conforme o desenho
    • Construção: Usinagem de precisão com transições fundidas pela chama; recozimento de alívio de tensões disponível.
    • Superfícies e limpeza: Superfícies molhadas, lisas e sem lascas; limpeza ultrassônica/DI; embalagem compatível com Class-100
    • Nota de serviço: Destinado ao serviço a vácuo ou a baixa pressão. Qualquer classificação de pressão depende do projeto e dos ensaios.

    Propriedades do material (típicas)

    • Resistência química excepcional e baixos extrativáveis (observação: HF ataca o quartzo fundido)
    • Expansão térmica muito baixa com boa tolerância a choques térmicos
    • Isolante elétrico, ópticamente claro e com baixo desprendimento de gases — ideal para serviços de alta pureza.

    Notas de processamento e projeto

    • Use raios generosos nas junções para reduzir o estresse e as armadilhas de partículas. Polir as superfícies molhadas para minimizar o desprendimento de partículas
    • Defina o padrão/ângulo de pulverização, o tamanho-alvo das gotículas e as metas de tempo de residência ao especificar bicos e defletores
    • Adicionar ventilação em cavidades cegas e em elementos roscados para evitar vazamentos virtuais em serviço de vácuo
    • Forneça inclinação de dreno e geometria de sumidouro para evitar retenção de líquido; considere recursos anti-refluxo quando necessário
    • Escolha padrões de conexão que correspondam à sua tubulação a jusante e às práticas de manutenção.
    • Podemos aconselhar tolerâncias práticas para planicidade da face de vedação, a concentricidade do porto e o alinhamento, com base no tamanho e na geometria.

    Inspeção e Testes

    • Verificação dimensional: tamanho do recipiente, posições dos portos, concentricidade do pescoço e geometria da face de vedação.
    • Testes opcionais: teste de vazamento de hélio (montagens a vácuo). Teste de fluxo/retenção ou teste de queda de pressão conforme o design
    • Inspeção visual: verificação de 100% de lascas, microfissuras, inclusões e contaminação.
    • Avaliação opcional de birrefringência e estresse e certificação de limpeza

    Aplicações

    Pulverização e mistura de precursores para ALD/CVD, pulverização química úmida, gravagem e enxaguamento, contato vapor-líquido, micro-reatores, lavagem de gases e sistemas analíticos/de laboratório que exigem alta pureza e acesso visual

    Embalagem e armazenamento

    Capas protetoras nos conectores; emballagem antiestática a vácuo com espuma amortecedora e proteção externa rígida. Armazene em local seco (<40% de umidade relativa) a 10–30 °C e longe de químicos que contenham HF.

    Observações
    Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
    Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado

    Consulta rápida

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