Anéis de quartzo fundido e componentes de processo

  • White gloved hand holding a semi-transparent Fused Quartz ring with a double-grooved profile
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with multiple clear cylindrical supports and a central opening
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with a large central opening and outer edge cutouts

    • Anéis de quartzo fundido e componentes de processo

    Anéis de quartzo fundido e componentes de processo projetados para aplicações em semicondutores, gravação por plasma e vácuo. Usinados a partir de sílica fundida de alta pureza de acordo com seus desenhos, esses componentes oferecem excelente estabilidade térmica, inércia química e controle dimensional preciso — ideais para vedação, espaçamento, blindagem e manuseio em ambientes de alta temperatura e corrosivos.

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    O que fornecer para um orçamento

    • Desenho (PDF/STEP) ou dimensões-chave: OD / ID / espessura. Quaisquer degraus, bordas ou saliências.
    • Função e interface: largura e acabamento da área de vedação. Espaço entre o anel e a peça e peças de acoplamento (tubo, placa, porta, mandril).
    • Padrão de parafusos (BCD, quantidade de furos), rebaixos e furos de escareamento, entalhes/chaves de alinhamento, furos de ventilação, ranhuras para O-ring
    • Elementos opcionais: espaçadores/postes, bolsos, geometria de sombra e lábio, escudos contra salpicaduras, ID da peça a laser/marca de orientação
    • Condições de operação: nível de vácuo / pressão, plasma/química, temperatura máxima, objetivo de limpeza.
    • Tolerâncias críticas: planicidade, paralelismo, concentricidade/desvio circular. Qualidade da superfície exigida nas faces funcionais.
    • Quantidade (protótipo ou lote), relatórios de inspeção necessários, nível de embalagem

    Especificações principais

    • Material: quartzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado do material disponível mediante solicitação
    • Geometria: Anéis planos, anéis com ressalos/ com lábio duplo, placas em forma de rosquinha com aberturas, anéis com espaçadores/pinos ou escudos integrados; montagens monolíticas ou fundidas pela chama
    • Dimensões: Conforme o desenho (fabricado sob encomenda); espessura uniforme da seção para estabilidade térmica
    • Arestas e superfícies: bordas polidas pela chama; superfícies de vedação/visualização polidas; raios suaves para minimizar a geração de partículas
    • Montagem e alinhamento: Círculos de parafusos precision, furos escareados/furos de alargamento, características de pinos de alinhamento; marcação a laser opcional
    • Limpeza: Limpeza ultrassônica/DI; embalagem compatível com Class-100
    • Variante: Quartzo fundido opaco (OP) disponível quando proteção térmica adicional é necessária

    Propriedades do material (típicas)

    • Baixa expansão térmica, boa resistência a choques térmicos
    • Excelente resistência química à maioria dos meios de processo (nota: HF ataca o quartzo fundido)
    • Isolante elétrico, com baixo desgasamento; limpo opticamente onde a transparência é necessária.

    Notas de processamento e projeto

    • Defina a largura e o acabamento da região de vedação e qualquer geometria da ranhura para o anel O-ring, para atingir a taxa de vazamento alvo
    • Ventile furos cegos ou roscados expostos ao vácuo para evitar vazamentos virtuais
    • Mantenha a espessura da parede uniforme e adicione raios internos generosos para reduzir o estresse
    • Os espaçadores/postes melhoram o espaçamento e o fluxo de ar. Especifique a altura/diâmetro e o acabamento da ponta.
    • Podemos indicar tolerâncias viáveis para planicidade, paralelismo, coaxialidade e runout com base no tamanho e na geometria

    Inspeção e Testes

    • Verificação dimensional: OD/ID/thickness, step heights/widths, bolt circle, hole Ø/positions; post/standoff height
    • Verificações de planicidade e paralelismo das faces de vedação e de referência; desvio em relação ao datum
    • Inspeção visual 100% de lascas, microfissuras, inclusões e contaminação
    • Opcional: teste de vazamento de hélio (montagem), verificação do acabamento de superfície, avaliação de birrefringência e tensão, relatório de limpeza

    Aplicações

    Anéis de vedação para extremidades de forno/tubo e portas de vácuo, anéis espaçadores/suportes, escudos de respingos/partículas, anéis de alinhamento e manuseio. Placas protetoras em formato de anel para gravação, CVD/PECVD, difusão/oxidação, bancada úmida e subsistemas de metrologia.

    Embalagem e armazenamento

    Proteções de borda e separadores; embalagem antistática, selada a vácuo com proteção externa rígida. Armazene em local seco (<40% de humidade relativa) a 10–30 °C e longe de produtos químicos que contenham HF.

    Observações
    Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
    Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado

    Consulta rápida

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