Pinças de quartzo fundido e ferramentas de manuseio de placas de silício

  • White gloved hand holding a custom-shaped frosted Fused Quartz mechanical gripper.
  • White gloved hand holding a custom-shaped frosted Fused Quartz mechanical gripper.
  • Frosted Fused Quartz handling tool with a wide arch and slotted top section.

    • Pinças de quartzo fundido e ferramentas de manuseio de placas de silício

    Pinças e efectoras finais de quartzo fundido personalizadas, projetadas para manuseio de wafer ultra-clean e transferência precisa de componentes na automação de semicondutores e salas limpas. Usinadas a partir de quartzo fundido de alta pureza e com acabamento para baixa geração de partículas, estas ferramentas proporcionam excelente inércia química, estabilidade térmica e contato suave, sem arranhões, com substratos sensíveis.

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    O que fornecer para um orçamento

    • Desenho (PDF/STEP) ou dimensões-chave são fornecidos. Dimensões: tamanho total, abertura do garfo e largura da garganta, largura do pad de contato e espessura.
    • Tamanho da oblea e método de manuseio (manual/robótico), padrão de montagem ou interface de agarramento
    • Requisitos de borda/acabamento: chanframento/bisel, superfícies de contato polidas, textura antiderrapante se necessário
    • Ambiente operacional: químicos, temperatura, classe de vácuo/sala limpa; necessidades de ESD ou bloqueio de luz, se houver.
    • Tolerâncias críticas (planicidade, paralelismo, simetria) e deflexão admissível
    • Quantidade (protótipo ou lote); relatórios de inspeção e nível de embalagem

    Especificações principais

    • Material: quartzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado do material disponível mediante solicitação
    • Geometria: garfo em Y / garfo em U / paleta / concha / efector final em formato de anel; peça única ou montado com nervuras para rigidez. Pode ser produzido como peça única ou como montagem com nervuras para maior rigidez.
    • Dimensões: De acordo com o desenho (feito sob encomenda); peso equilibrado e centro de gravidade para uso manual ou robótico
    • Áreas de Contato: Superfícies totalmente polidas e com partículas minimizadas; bordas com raio para proteger a borda do wafer e o entalhe
    • Características: Entalhes de alinhamento, cavidades de alívio para características da face posterior, fendas/recortes de vácuo, furos para empunhadura ou montagem de robô, rebaixos, identificação por laser
    • Acabamento de borda e superfície: 【正文】bordas polidas por chama; faces funcionais lixadas ou polidas ópticamente; textura microtexturada opcional para aderência
    • Limpeza: Limpeza ultrassônica/DI; embalagem compatível com Class-100

    Propriedades do material (típicas)

    • Excelente resistência química (nota: o HF ataca o quartzo fundido)
    • Expansão térmica muito baixa e boa resistência a choques térmicos
    • Isolante elétrico, com baixo desgasamento. Superfície óptica limpa para manuseio sensível a contaminação.

    Notas de processamento e projeto

    • Utilize raios de borda generosos e pads de contato polidos para evitar micro lascas e riscos
    • Mantenha a simetria da forquilha e a largura da garganta de forma constante para assegurar um suporte uniforme. Adicione nervuras onde a rigidez for necessária.
    • Forneça o padrão de montagem ou a geometria da empunhadura compatível com suas ferramentas/robôs
    • Adicionar características de relevo para evitar o contato com os filmes da face posterior, saliências ou marcas fiduciais
    • Podemos indicar tolerâncias práticas para planicidade, paralelismo e deflexão com base no tamanho e na geometria.

    Inspeção e Testes

    • Verificação dimensional: tamanho total, abertura da forquilha, espessura, padrão de montagem
    • Verificações de planicidade e paralelismo em superfícies de contato
    • Inspeção visual 100% para lascas, microfissuras e contaminação. Verificação opcional de birefringência e tensão
    • Relatório de verificação de limpeza mediante solicitação

    Aplicações

    Carga e descarrega manuais e robóticas de wafers, metrologia e inspeção, limpeza e transferência em bancada úmida, operações de carrier/FOUP/SMIF, manuseio de precisão de componentes frágeis de vidro/cerâmica

    Embalagem e armazenamento

    Protetores da superfície de contato e separadores; embalagem antiestática, a vácuo, com proteção externa rígida. Armazene em ambiente seco (<40% de umidade relativa) a 10–30 °C e mantenha distância de químicos que contenham HF.

    Observações
    Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
    Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado

    Consulta rápida

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    Disponíveis 24/7 por e-mail ou telefone para ajudar na compra de nossos produtos de vidro de quartzo, com soluções, com problemas de uso ou para fornecer suporte técnico.

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