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6 inch quartzo fundido garras de vácuo e discos de retenção de wafers

Tuguan
agosto 12, 2025

Clear, square Fused Quartz vacuum suction disc with etched concentric circles and radial lines

6 inch quartzo fundido garras de vácuo e discos de retenção de wafers

Os chuck de vácuo de precisão personalizados e discos de retenção de wafers em quartzo fundido foram projetados para aplicações exigentes no manuseio de wafers semicondutores, gravação e outras indústrias de alta tecnologia. Fabricados em quartzo fundido de alta pureza, estes componentes garantem manuseio sem contaminação e sem arranhões, oferecendo estabilidade térmica excepcional e inertidade química para desempenho confiável em ambientes de vácuo e de alta temperatura.

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Material

Material de base: quartzo fundido sintético de alta pureza (SiO₂ ≥99.99%)
Qualidade óptica: transparência UV com baixo teor de hidroxila (OH)

Dimensões

Diâmetro :100 mm ±0.05 mm
Espessura: 3 mm ±0.05 mm
Tratamento de borda: chanframento de acabamento fino ≤0.3 mm

Propriedades físicas

Densidade: 2.2 g/cm³
Dureza: Mohs 5.5-6.5
Expansão térmica: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
Ponto de amolecimento: 1683°C

Propriedades ópticas

Faixa de transmissão: 190 nm (UV) a 2500 nm (IR)
Índice de refração: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
Planicidade da superfície: λ/4 @ 632.8 nm

Especificações da superfície

Rugosidade Ra: ≤5 Å (superfícies polidas)
Paralelismo : ≤1 arcmin

Resistência química

Resistente a ácidos (exceto HF), água e solventes orgânicos

Aplicações

Janelas ópticas, sistemas a laser, fotolitografia UV
Processamento de semicondutores, janelas de visualização de alta temperatura

Certificações e Conformidade

em conformidade com RoHS
Relatórios de metrologia personalizados disponíveis mediante solicitação

Embalagem

Embalado individualmente em espuma antiestática
Enviado em recipientes rígidos e à prova de esmagamento

Observações
Evite choques mecânicos ou contato direto com objetos cortantes
Limpar com IPA ou acetona usando lenços sem fiapos
Para dados técnicos completos ou solicitações personalizadas, contate email

Consulta rápida

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