Coberturas de cúpula e tampas de processo de quartzo fundido

  • Assortment of clear and frosted Fused Quartz components, including a large frosted ring with an integrated clear dome, and smaller clear domes and oval rings

    • Coberturas de cúpula e tampas de processo de quartzo fundido

    Tampas de cúpula e tampas de processo em quartzo fundido para equipamentos semicondutores de alta pureza, conjuntos ópticos e câmaras de alta temperatura. Fabricadas em quartzo fundido de alta pureza com bordas lisas sem lascas, essas cúpulas proporcionam excelente estabilidade térmica, inércia química e ajuste preciso, oferecendo visualização clara, vedação confiável e proteção em ambientes sensíveis.

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    O que fornecer para um orçamento

    • Fornecer desenho (PDF/STEP) ou dimensões principais: diâmetro externo, diâmetro/largura da flange, altura de flecha (raio de curvatura), espessura da parede.
    • Estilo de cúpula: hemisférica, rasa/larga ou em menisco; com ou sem flange ou anel; zona de visualização transparente ou fosca.
    • Interface de vedação: dimensões/posição da ranhura para O-ring, largura/acabamento da área de vedação, superfície de acoplamento e padrão de parafusos, se aplicável.
    • Necessidades ópticas (se aplicável): nível de polimento na área de visualização, meta de scratch-dig, planicidade/curvatura/irregularidade da superfície.
    • Especificar as condições de operação, incluindo vácuo/pressão admissível, gases/processos químicos, temperatura máxima e ciclos térmicos, e o nível de limpeza exigido.
    • Tolerâncias críticas: runout/concentricidade, paralelismo/planicidade da flange, uniformidade de espessura e tolerância do perfil da cúpula.
    • Quantidade (protótipo ou lote), relatórios de inspeção exigidos e nível de embalagem

    Especificações principais

    • Material: Quartzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado do material disponível mediante solicitação. Opcionalmente, quartzo fundido de grau UV para transmissão no UV profundo.
    • Geometria: Cúpulas hemisféricas ou rasas; cúpulas com flanges/anéis integrados; tampas com abertura circular ou personalizada; conjuntos monolíticos ou fundidos à chama.
    • Superfícies: Zonas de visualização polidas opticamente; áreas de vedação retificadas/polidas; áreas opcionais jateadas/gravadas para difundir a luz.
    • Arestas: Bordas polidas por chama e raios generosos para minimizar a geração de partículas e o lascamento.
    • Limpeza: Limpeza por ultrassom/água deionizada; embalagem compatível com Class-100
    • Nota de serviço: Tipicamente para vácuo ou baixa pressão positiva. Qualquer classificação de pressão depende do projeto e dos testes.

    Propriedades do material (típicas)

    • Expansão térmica muito baixa e boa resistência a choques térmicos
    • Excelente resistência química à maioria dos meios de processo (nota: HF ataca o quartzo fundido)
    • Isolante elétrico com baixa liberação de gases; alta clareza óptica de UV a IR (dependendo do grau).

    Notas de processamento e projeto

    • Defina se o raio da cúpula é referenciado à superfície interna ou externa; mantenha a espessura da parede uniforme para reduzir tensões.
    • Especifique o polimento da área de visualização e quaisquer especificações ópticas (p.ex., scratch-dig 60-40 ou melhor) apenas onde for necessário para controlar o custo
    • Adicione ventilação a recursos cegos (furos para parafusos/contra-alésagos) submetidos ao vácuo para evitar vazamentos virtuais.
    • Utilize vedações e braçadeiras flexíveis e permita a expansão térmica para evitar tensões durante os ciclos térmicos.
    • Podemos indicar tolerâncias viáveis para altura de perfil/afundamento, planicidade/paralelismo da flange, concentricidade e runout com base no tamanho.

    Inspeção e Testes

    • Verificação dimensional: OD, geometria da flange, altura/raio de flecha, espessura, tamanho/posição do sulco e localizações do círculo de parafusos.
    • Verificações de planicidade/parallelismo em sedes de vedação; perfil da cúpula e excentricidade em relação ao datum
    • Inspeção óptica da área de visualização (qualidade do polimento, defeitos) conforme especificado
    • Inspeção visual 100% para lascas, microtrincas, inclusões e contaminação. Relatórios opcionais de limpeza e de birrefringência/tensão.

    Aplicações

    Inspeção e usinagem de tampas para etch/CVD/RTP e câmaras de vácuo, janelas ópticas e carcaças de lâmpadas, proteção contra respingos/partículas e tampas de reatores de alta temperatura.

    Embalagem e armazenamento

    Protetores de borda e películas protetoras sobre áreas de visualização/vedação; embalagem antiestática, selada a vácuo com proteção externa rígida. Armazenar seco (<40% RH) a 10–30 °C e afastado de produtos químicos que contenham HF.

    Observações
    Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
    Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado

    Consulta rápida

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