Fused Quartz Vacuum Chucks & Handling Plates

  • Close-up of a clear Fused Quartz plate with complex internal fluidic channels and two circular ports, held by a gloved hand
  • Clear Fused Quartz rectangular frame or support component with a large central cutout and multiple perimeter holes.
  • Top-down view of a clear, square Fused Quartz plate with an intricate concentric circular and radial etched pattern, resembling a fan guard
  • Clear, rectangular Fused Quartz plate with a precise grid of small square openings and circular standoffs, held by a gloved hand.

    • Fused Quartz Vacuum Chucks & Handling Plates

    Our precision custom Fused Quartz vacuum chucks, plates, and handling fixtures are engineered for demanding applications in semiconductor wafer processing, etching, and other high-tech industries. Crafted from high-purity Fused Quartz, these components ensure contamination-free, scratch-free handling, offering exceptional thermal stability and chemical inertness for reliable performance in vacuum and high-temperature environments

    Solicitar consulta gratuita

    Basic Dimensions

    • Outer Diameter (OD): 300.0 mm ±0.1
    • Inner Diameter (ID): 210.0 mm ±0.1
    • Height (H): 6.35 mm ±0.05

    Propriedades do material

    • Material de base: Al₂O₃ (cerâmica de alumínio) / Opcional: ZrO₂, Si₃N₄
    • Densidade ≥3.90 g/cm³
    • Resistência à flexão: ≥350 MPa
    • Condutividade térmica: 24-30 W/(m·K)
    • Tensão dielétrica: ≥15 kV/mm

    Tolerância e qualidade da superfície

    • Concentricidade: ≤0.05 mm (DE e DI)
    • Paralelismo ≤0.03 mm (superfícies superiores e inferiores)
    • Rugosidade da superfície: Ra ≤0.4 μm

    Testes de desempenho-chave

    • Inspeção dimensional: De acordo com a ISO 286-2
    • Teste da taxa de fuga ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Espectrometria de massas de hélio)
    • Resistência ao choque térmico: ΔT ≥300°C (5 ciclos, sem fissuras)

    Aplicações

    • Processamento de semicondutores: Câmaras de vácuo, componentes de gravação por plasma
    • Ambientes de alta temperatura: ≤1600°C (Dependente do material)

    Embalagem e manuseio

    • Embalagem para sala limpa Classe 100 ou superior
    • Antiestático contenedores à prova de ESD

    Declaração de conformidade
    Conforme SEMI F47-0706 (Componentes cerâmicos para equipamentos de semicondutores)

    Aviso de isenção de responsabilidade
    Personalização disponível mediante solicitação. Os parâmetros críticos marcados com “□” requerem confirmação explícita.

    Consulta rápida

    Se quiser saber mais quartzo fundido Ou busca soluções em quartzo fundido? Contate-nos para serviços profissionais

    Disponíveis 24/7 por e-mail ou telefone para ajudar na compra de nossos produtos de vidro de quartzo, com soluções, com problemas de uso ou para fornecer suporte técnico.

    Nome (cópia)
    pt_BRPortuguês do Brasil
    en_USEnglish es_ESEspañol fr_FRFrançais de_DEDeutsch ru_RUРусский arالعربية ja日本語 ko_KR한국어 zh_TW繁體中文 pt_BRPortuguês do Brasil