Suportes de quartzo fundido e porta-processos

  • Clear Fused Quartz support frame with multiple angled bars and flat mounting points, held by a gloved hand

    • Suportes de quartzo fundido e porta-processos

    O quartzo fundido oferece suportes, chassis e portadores projetados para o processamento de wafers, CVD, ferramentas de plasma, bancadas úmidas e fornos de alta temperatura. Feito de sílica fundida de alta pureza e montado por fusão de chama de precisão, estes acessórios proporcionam excelente estabilidade térmica, inertência química e controle dimensional rigoroso — proporcionando suporte limpo, estável e manuseio confiável em ambientes críticos.

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    O que fornecer para um orçamento

    • Desenho (PDF/STEP) ou dimensões-chave: tamanho geral, diâmetro do trilho/barra, altura de afastamento, pontos de interface
    • Carga útil e interface: tamanho/peso da peça a ser mantida (wafer/boat/substrate). Número de pontos de contato e folgas-alvo
    • Modo de uso: suporte estático vs manuseio por transferência/robô; padrão de montagem ou design de gancho/pé
    • Ambiente: produtos químicos, vácuo/pressão, temperatura máxima e perfil de ciclo térmico
    • Superfície e contato: almofadas polidas vs acabamento usinado; raios de borda e chanfras para evitar riscos
    • Tolerâncias críticas: planicidade/quadratura, paralelismo, deflexão admissível sob carga
    • Quantidade (protótipo ou lote), relatórios de inspeção obrigatórios, nível de embalagem/limpeza

    Especificações principais

    • Material: quartzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado do material disponível mediante solicitação
    • Geometria: Estruturas, racks, berços, portadores, suportes e estruturas com cruzetas; conjuntos monolíticos ou fundidos pela chama
    • Dimensões: Conforme o desenho (feito sob encomenda) com espessura uniforme da seção para estabilidade térmica
    • Características: Espaçadores/Pés, trilhos, linguetas/ganchos, chaves de alinhamento ou pinos, poços de alívio de peso, orifícios de drenagem/ventilação
    • Construção: Fresamento de precisão com juntas lisas e sem cavacos. O recozimento de alívio de tensões está disponível.
    • Acabamento da superfície: Bordas polidas por chama; pads de contato polidos para manuseio sem arranhões; raios desbastados em todos os pontos de contato
    • Limpeza: Limpeza ultrassônica/DI; embalagem compatível com Class-100; ID da peça de laser opcional / marca de orientação

    Propriedades do material (típicas)

    • Expansão térmica muito baixa e boa resistência a choques térmicos
    • Excelente resistência química à maioria dos meios de processo (nota: HF ataca o quartzo fundido)
    • Isolante eletricamente, com baixo desprendimento de gases; superfícies limpas opticamente para ferramentas sensíveis à contaminação.

    Notas de processamento e projeto

    • Mantenha a espessura da parede/barra uniforme e aplique raios de canto generosos nas junções para minimizar a concentração de tensões
    • Definir o tamanho/acabamento da almofada de contato e a folga permitida em relação à carga útil para evitar microchips e armadilhas de partículas
    • Utilize contrafortes cruzados ou nervuras quando a rigidez e a baixa deflexão forem críticas; indique a deflexão-alvo sob carga
    • Ventile cavidades cegas ou orifícios expostos ao vácuo para evitar vazamentos virtuais
    • Podemos indicar tolerâncias práticas para planicidade, esquadramento, paralelismo e desvio radial com base no tamanho, na geometria e na carga.

    Inspeção e Testes

    • Verificação dimensional: tamanho global, altura de afastamento, espaçamento entre trilhos e hastes, posições dos furos; verificações de esquadro e paralelismo
    • Inspeção visual: verificação de 100% de lascas, microfissuras, inclusões e contaminação.
    • Opcional: avaliação de birrefringência/tensão; teste de carga/deflexão; relatório de limpeza

    Aplicações

    Barco de wafers e suportes de substrato, estruturas da zona quente do forno, prateleiras e portadores da bancada úmida, dispositivos de transferência para manuseio robótico ou manual, dispositivos de alinhamento e espaçamento em ferramentas de CVD/etch/clean.

    Embalagem e armazenamento

    Tampas protetoras nas extremidades de contato, protetores de borda e separadores; embalagem antiestática, a vácuo, com proteção externa rígida. Armazenar seco (<40% RH) a 10–30 °C e longe de químicos que contenham HF.

    Observações
    Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
    Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado

    Consulta rápida

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