Anéis de suporte de quartzo fundido de alta precisão e componentes de processo

  • Large, semi-transparent Fused Quartz ring with internal radial support fins and a central opening.
  • Two Fused Quartz support rings, one larger with internal fins, one smaller with cylindrical internal supports.

    • Anéis de suporte de quartzo fundido de alta precisão e componentes de processo

    Anéis de suporte de quartzo fundido e componentes de processo projetados para a fabricação de semicondutores, gravura por plasma e outros ambientes de alta temperatura e alta pureza. Usinados a partir de sílica fundida de alta pureza e otimizados para rigidez e fluxo, essas peças proporcionam excelente estabilidade térmica, inertência química e controle dimensional preciso—garantindo suporte confiável, espaçamento e fluxo de processo.

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    O que fornecer para um orçamento

    • Desenho (PDF/STEP) ou dimensões-chave: OD / ID / espessura. Quaisquer degraus, bordas ou saliências.
    • Função e interface: peças acopláveis (mandril/placa/tubo), espaço-alvo entre o anel e a peça, áreas de vedação e de apoio
    • Características: círculo de parafusos e diâmetro/quantidade de furos; escareado / rebaixo cilíndrico; chaves de alinhamento / entalhes; furos de ventilação e drenagem
    • Detalhes de fluxo e rigidez: nervuras, ranhuras e espaçadores (altura/espacamento), bolsos para redução de peso e requisitos do caminho de fluxo de ar.
    • Condições de operação: química de vácuo/plasma, temperatura máxima, objetivo de limpeza
    • Tolerâncias críticas: planicidade, paralelismo e concentricidade / desvio de rotação; acabamento superficial das superfícies funcionais.
    • Quantidade (protótipo ou lote), relatórios de inspeção necessários, nível de embalagem

    Especificações principais

    • Material: Quartzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado de material disponível mediante solicitação
    • Geometria: Anéis planos ou escalonados; estilos de lábio duplo/borda; anéis com nervuras/fendas/distanciadores; placas em formato de rosquinha com aberturas; montagens monolíticas ou fundidas pela chama
    • Dimensões: Conforme o desenho (feito sob encomenda) com espessura uniforme da seção para estabilidade térmica
    • Características de Fluxo e Suporte Costelas radiais e ranhuras longitudinais para fluxo de gás controlado e rigidez. Orifícios de ventilação distribuídos de forma uniforme para evitar vazamentos virtuais e melhorar a eficiência da purga.
    • Arestas e superfícies: bordas polidas a fogo; faces funcionais usinadas e polidas; raios suaves para minimizar a geração de partículas
    • Alinhamento e montagem: Padrões precisos de parafusos, rebaixos cônicos e furos com alargamento; características de pinos de alinhamento; identificação por laser da peça e marca de orientação opcional.
    • Variante: quartzo fundido opaco (OP) disponível onde for necessária blindagem térmica adicional
    • Limpeza: Limpeza ultrassônica/DI; embalagem compatível com Class-100

    Propriedades do material (típicas)

    • Expansão térmica muito baixa e boa resistência a choques térmicos
    • Excelente resistência química à maioria dos meios de processo (nota: HF ataca o quartzo fundido)
    • Isolante elétrico, com baixo desprendimento de gases; opticamente limpo quando a transparência é necessária

    Notas de processamento e projeto

    • Mantenha a espessura da parede uniforme e use raios internos generosos para reduzir a concentração de tensões.
    • Defina a largura da área de apoio/acabamento e qualquer geometria da ranhura do O-ring para alcançar a taxa de vazamento alvo se for usado para vedação
    • Aberturas de ventilação cegas/rosqueadas expostas ao vácuo para evitar vazamentos virtuais
    • Costelas/distanciadores melhoram a rigidez e o espaçamento—especifique a altura, a espessura e o espaçamento; adicione bolsões de redução de peso onde a massa for uma preocupação
    • Podemos indicar tolerâncias viáveis para planicidade, paralelismo, coaxialidade e runout com base no tamanho e na geometria

    Inspeção e Testes

    • Verificação dimensional: diâmetro externo/diâmetro interno/espessura, alturas e larguras dos degraus. Espaçamento entre nervuras e ranhuras, círculo de parafusos e posições dos furos.
    • Verificações de planicidade e paralelismo nas faces de referência e de vedação; deflexão radial em relação ao referencial
    • Inspeção visual 100% de lascas, microfissuras, inclusões e contaminação
    • Opcional: teste de vazamento de hélio (montagem), verificação do acabamento de superfície, avaliação de birrefringência e tensão, relatório de limpeza

    Aplicações

    Anéis de suporte e espaçadores em chuck/placas, anéis de condicionamento de fluxo e purga para ferramentas de plasma/CVD, escudos contra respingos/partículas, anéis de alinhamento e manuseio para portadores de wafers/processos em ambientes de alta temperatura ou corrosivos

    Embalagem e armazenamento

    Proteções de borda e separadores; embalagem antiestática, vedada a vácuo com proteção externa rígida. Armazenar em local seco (<40% RH) a 10–30 °C; manter afastado de químicos que contenham HF.

    Observações
    Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
    Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado

    Consulta rápida

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