Quartzo fundido – tampas de anel e placas protetoras

  • Clear Fused Quartz ring cover with concentric circles, an oval central opening, and perimeter holes

    • Quartzo fundido – tampas de anel e placas protetoras

    Cubetas de anel de quartzo fundido e placas protetoras para equipamentos de semicondutores, sistemas de vácuo e montagens ópticas. Fabricadas a partir de sílice fundida de alta pureza e usinadas de acordo com o seu desenho, esses componentes transparentes oferecem excelente clareza óptica, estabilidade térmica, inércia química e ajuste preciso — proporcionando vedação confiável, proteção contra respingos e acesso visual em ambientes sensíveis.

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    O que fornecer para um orçamento

    • Desenho (PDF/STEP) ou dimensões-chave: Ø externo, Ø interno/abertura, espessura
    • Padrão de parafusos Ø (BCD), furo Ø/quantidade, fenda ou estilo de folga, detalhes de avellanado e furo com rebaixo cilíndrico
    • Características de vedação: tamanho/posição da ranhura para o-ring, largura/acabamento da superfície de vedação, interface da junta
    • Opções funcionais: zona de janela de visualização, bordas elevadas/em degraus, entalhes/engates de alinhamento, orifícios de ventilação para evitar vazamentos virtuais
    • Condições de operação: nível de vácuo/pressão, produtos químicos, temperatura, objetivo de limpeza
    • Tolerâncias críticas: planicidade, paralelismo, concentricidade/desvio; qualidade de superfície nas áreas de vedação e ópticas
    • Quantidade (protótipo ou lote), relatórios de inspeção obrigatórios, nível de embalagem

    Especificações principais

    • Material: Quartzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado de material disponível mediante solicitação
    • Geometria: Tampas de anel redondas ou poligonais, donuts, placas completas com abertura central; montagens de uma peça ou de várias peças conforme o desenho
    • Dimensões: Conforme o desenho (fabricado sob encomenda); espessura uniforme da seção para estabilidade térmica
    • Arestas e superfícies: bordas polidas por chama; áreas de vedação e superfícies de visualização usinadas e polidas para minimizar partículas e melhorar a integridade da vedação
    • Montagem e alinhamento: Padrões precisos de parafusos, rebaixos e furos com escalon, características de pinos/locadores; identificação da peça por laser opcional/marca de orientação
    • Limpeza: Limpeza ultrassônica/DI e embalagem compatível com Classe 100

    Propriedades do material (típicas)

    • Excelente resistência química à maioria dos meios de processo (nota: HF ataca o quartzo fundido)
    • Expansão térmica muito baixa e boa resistência a choques térmicos
    • Isolante elétrico, baixa desgasificação; alta clareza óptica para visualização e alinhamento。

    Notas de processamento e projeto

    • Largura e acabamento da área de vedação e geometria da ranhura do o-ring
    • Adicionar ventilação em características cegas expostas ao vácuo para evitar vazamentos virtuais
    • Utilize raios internos generosos e bordas sem rebarba para reduzir a tensão e a geração de partículas
    • Podemos aconselhar tolerâncias viáveis para planicidade, paralelismo, concentricidade e runout com base no tamanho/geometria

    Inspeção e Testes

    • Verificação dimensional: Ø externo/Ø interno/espessura, círculo de parafusos, Ø do furo/posição, tamanho/posição da ranhura
    • Planicidade e paralelismo de superfícies de vedação e ópticas
    • Inspeção visual 100% de lascas, microfissuras, inclusões e contaminação
    • Opcional: teste de vazamento de hélio (montagem), verificação do acabamento da superfície, relatório de limpeza.

    Aplicações

    Capas de câmara e visores, placas protetoras em formato de anel, escudos de respingos para bancadas úmidas, interfaces de portas de vácuo, placas ópticas e de alinhamento em subsistemas de metrologia ou litografia

    Embalagem e armazenamento

    Proteções de borda e filmes protetores em áreas ópticas/de vedação; embalagem antiestática, selada a vácuo com proteção externa rígida. Armazene em local seco (<40 % de umidade relativa) a 10–30 °C; mantenha longe de químicos que contenham HF.

    Observações
    Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
    Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado

    Consulta rápida

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