Bicos e componentes fluídicos

  • Frosted Fused Quartz nozzle with a precise internal channel and side port.
  • Clear Fused Quartz rectangular block with multiple internal threaded channels and fluidic pathways

Bicos e componentes fluídicos

Bicos de quartzo fundido, cabeças de pulverização, injetores, difusores e coletores fluidos projetados para ferramentas de semicondutores, ALD/CVD, bancadas úmidas e sistemas químicos/de laboratório. Construídos a partir de sílica fundida de alta pureza e usinados com precisão de acordo com o seu desenho, estas peças oferecem excelente inércia química, estabilidade térmica e uma entrega precisa e limpa de gases e líquidos em vácuo e ambientes de alta temperatura.

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O que fornecer para um orçamento

  • Desenho (PDF/STEP) ou dimensões-chave: tamanho do corpo, espessura da parede, posições dos portos
  • Meio e alvos: gás/líquido, faixa de vazão, pressão/vácuo, estilo cone de pulverização ou jato
  • Detalhes do orifício: diâmetro, quantidade, espaçamento, posição; único ou múltiplos orifícios; difusor interno / sparger, se necessário
  • Detalhes do coletor/canal (se aplicável): disposição, forma da seção transversal, zonas de mistura, limites de volume morto
  • Tipos de conexões: extremidades roscadas, engates de mangueira, conectores de compressão, flanges KF/ISO ou adaptadores personalizados
  • Tolerâncias críticas e acabamento superficial das áreas molhadas; nível de limpeza
  • Quantidade (protótipo ou lote), relatórios de inspeção, nível de embalagem

Especificações principais

  • Material: quartzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado do material disponível mediante solicitação
  • Tipos: bicos/injetores, cabeças de pulverização, difusores/spargers, coletores de distribuição, microreator ou blocos de mistura
  • Dimensões: Conforme o desenho (feito sob encomenda) com espessura de parede uniforme para estabilidade térmica
  • Orifícios e passagens Perfurado a laser ou gravado; matrizes de orifícios únicos ou múltiplos; geometria do canal conforme o projeto.
  • Conexões: Roscas, conectores com pescoço (barbs), interfaces de compressão ou flange; características de alinhamento e identificação da peça a laser mediante solicitação
  • Acabamento da superfície: Borda polida pela chama; superfícies molhadas ou polidas para minimizar a geração de partículas
  • Construção: Usinagem de precisão com juntas fundidas por chama. Placas de cobertura adesivas opcionais para designs de coletores
  • Limpeza: Limpeza ultrassônica/DI; embalagem compatível com Class-100
  • Nota de serviço: Destinado ao serviço a vácuo ou a baixa pressão. Qualquer classificação de pressão depende do projeto e dos ensaios.

Propriedades do material (típicas)

  • Excelente resistência química à maioria dos ácidos, bases e solventes orgânicos (nota: o HF ataca o quartzo fundido)
  • Expansão térmica muito baixa com alta resistência ao choque térmico
  • Isolante elétrico, com baixo desgasificação; superfícies ópticas limpas

Notas de processamento e projeto

  • Use raios generosos em transições internas para reduzir o estresse e armadilhas de partículas
  • Mantenha os comprimentos dos trajetos e as seções transversais consistentes para obter uma distribuição de fluxo uniforme
  • Ventile os furos de passagem expostos ao vácuo para evitar vazamentos virtuais; indique a taxa de vazamento aceitável
  • Selecione os padrões de conexão compatíveis com a tubulação a jusante. Evite roscas afiadas em seções finas
  • Podemos indicar tolerâncias práticas para o tamanho/espacamento do orifício, concentricidade, retidão e acabamento da superfície com base na geometria.

Inspeção e Testes

  • Verificação dimensional: tamanho do corpo, posições dos portos, tamanho e espaçamento dos orifícios; geometria dos canais (para coletores).
  • Opcional: teste de vazamento de hélio (conjuntos de vácuo). Teste de pressão/retenção de acordo com o projeto e caracterização da vazão
  • Inspeção visual 100% de lascas, microfissuras, inclusões e contaminação
  • Certificados de limpeza e rastreabilidade de materiais disponíveis

Aplicações

Injeção e distribuição de gás de processo, fornecimento de precursores ALD/CVD. Gravação por pulverização e enxágue, mistura e dosagem microfluídicas, coletoras de vapor e líquido para instrumentos analíticos e linhas químicas de alta pureza.

Embalagem e armazenamento

Embalagem antiestática, selada a vácuo com espuma amortecedora e tampas protetoras nas portas e orifícios. Armazene em local seco (<40% RH) a 10–30 °C; afaste-se de produtos químicos contendo HF.

Observações
Configurações personalizadas (padrões de furos, revestimentos ou marcações adicionais) disponíveis mediante solicitação.
Certificados de conformidade (RoHS, ISO 9001) fornecidos em pedidos no atacado

Consulta rápida

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