용융석영 웨이퍼 보트

용융석영 웨이퍼 보트

The Quartz Cleaning Boat은 반도체, 태양광 및 정밀 전자 산업을 위해 고순도이면서 부식에 강한 캐리어로 설계되었습니다. 웨이퍼나 부품을 습식/건식 세정, 산성 에칭 또는 고온 공정 중에 고정하는 데 사용됩니다.

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제품 개요

고순도이자 내식성 있는 용융석영 보트와 캐리어는 반도체, 태양광 및 고정밀 전자 산업용으로 맞춤 설계되었습니다. 웨이퍼 세정(RCA, SC1/SC2), 산성식 식각, 고온 어닐링/확산, CVD/PVD 공정에 이상적이며, 이 부품은 초청정의 비오염 표면과 뛰어난 열안정을 제공하고 SEMI F20/F47 표준을 충족합니다.

기술 사양

• 매개변수: 세부 정보
• 재료: 용융석영 (SiO₂ ≥99.99%)
• 치수: 맞춤형 (표준: 길이 200–500 mm, 너비 50–150 mm, 높이 20–50 mm)
• 최대 온도: 1,200°C (연속 사용) / 1,450°C (단기간 사용)
• 표면 마감: 산성 연마, Ra ≤0.8 μm
• 순도: 저금속 불순물 (Na, K, Fe 등 <1 ppm)
• 열 안정성: 열팽창계수 (CTE): 0.55 ×10⁻⁶/°C (20–1,000°C)

주요 특징

• 높은 화학적 저항성: HF, HCl, HNO₃ 등과 같은 공격적 화학 물질에 대해 저항합니다
• 저열팽창: 급격한 온도 변화로 인한 변형을 최소화
• 비오염성: 초청결한 표면은 입자 부착을 방지합니다
• 맞춤 디자인: 슬롯 간격, 깊이 및 큐벳의 형상은 고객의 요구에 맞춰 조정됩니다

용도

• 습식 벤치에서의 웨이퍼 세정(RCA, SC1/SC2)
• 산성 욕조 공정(예: BOE 에칭)
• 고온 어닐링/확산 단계
• CVD/PVD 챔버 부품 취급

품질 보증

• 적합성: SEMI F20/F47 표준을 충족합니다
• 테스트:
  불순물 분석을 위한 ICP-MS
  AFM를 통한 표면 거칠기 측정
  열충격 시험 (1,000°C ⇄ 25°C, 10회)

포장 및 보관

• ESD-안전 컨테이너에 개별 포장
• 건조하고 먼지가 없는 환경에서 보관하십시오 (10–30°C)

주의사항

• 기계적 충격이나 급격한 온도 변화 방지 (>10°C/min)
• 처음 사용하기 전에 탈이온수나 에탄올로 세척하십시오

빠른 문의

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