용융석영 진공 척 및 12-inch 웨이퍼 홀딩 디스크

용융석영 진공 척 및 12-inch 웨이퍼 홀딩 디스크

정밀도 맞춤형 용융석영 진공척과 12인치 웨이퍼 보유 디스크는 반도체 웨이퍼 취급, 식각 및 기타 첨단 기술 산업의 까다로운 용도에 맞게 설계되었습니다. 고순도 용융석영으로 제작된 이 구성품은 오염 없는 무상처 처리와 긁힘 방지를 보장하고, 진공 및 고온 환경에서 신뢰할 수 있는 성능을 제공하는 탁월한 열적 안정성과 화학적 비활성을 제공합니다.

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재료

• 기본 재료: 고순도 합성 용융석영 (SiO₂ ≥99.99%)
• 광학 등급: OH(하이드록실) 함량이 낮은 UV 등급 투과성

치수

• 직경 :100 mm ±0.05 mm
• 두께: 3 mm ±0.05 mm
• 모서리 가공: 연마된 미세 모서리 ≤0.3 mm

 물리적 성질

• 밀도: 2.2 g/cm³
• 경도: Mohs 5.5-6.5
• 열팽창: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
• 연화점: 1683°C

광학적 특성

• 전송 범위: 190 nm (UV)에서 2500 nm (IR)까지
• 굴절률: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
• Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
• 표면 평탄도: λ/4 @ 632.8 nm

표면 규격

• Ra 거칠기: ≤5 Å (연마 표면)
• 평행도 : ≤1 arcmin

화학적 내성

• HF를 제외한 산, 물 및 유기 용매에 대해 내성이 있다

용도

• 광학 창, 레이저 시스템, 자외선 노광
• 반도체 가공, 고온 뷰포트

인증 및 적합성

• RoHS 준수
• 맞춤형 계측 보고서는 요청 시 이용 가능합니다

패키징

• 정전기 방지 폼으로 개별 포장되어 있습니다
• 강하고 파손 방지 용기에 포장되어 발송

빠른 문의

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